发明专利已授权

一种氧化镓纳米晶薄膜日盲紫外探测器及其制备方法

📄 申请号：CN201910884320.0 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2019-09-19

公开号

CN110676339B

公开日

2021-07-20

申请人

西安工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L31_102

IPC 分类号

H01L31_102 , H01L31_0224 , H01L31_032 , H01L31_0368 , H01L31_18 ,

技术画像

所属领域

紫外探测光电子器件半导体薄膜纳米材料紫外探测

应用场景

火焰报警, 高压电晕检测, 紫外通信, 环境监测, 导弹预警

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摘要

本发明涉及对于氧化镓纳米晶薄膜在日盲紫外光电探测方面的应用，具体涉及一种氧化镓纳米晶薄膜日盲紫外探测器及其制备方法。本发明采用单晶Si作为衬底，并采用电子束蒸发技术，在其上先沉积SiO2薄膜隔离层；然后再沉积Ga2O3薄膜日盲紫外吸收层，经过退火处理使吸收层形成纳米晶结构；再通过电子束蒸发及快速热处理技术将Au/Ti双层金属叉指电极制备于吸收层上，即可得到成本低廉、工艺要求简单、重复性好、可大规模制造且具有良好光电响应的日盲紫外光探测器件。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

水声数据体绘制中基于梳状波变换的传递函数设计方法

当前第 / 件

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