发明专利 已授权

一种提高弛豫铁电薄膜介电和热释电性能的方法

📄 申请号:CN201910939492.3 📄 发布日:2026/07/23

著录项目信息

申请日
2019-09-30
公开号
CN110950660B
公开日
2022-03-15
申请人
西安工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

热释电传感器, 红外探测器, 电子器件, 非易失性存储器, 微机电系统

摘要

本发明涉及一种提高弛豫铁电薄膜介电和热释电性能的方法。现有铁电薄膜介电和热释电性能不高,通过A/B位掺杂改性的方式提高弛豫铁电薄膜介电和热释电性能。本发明依次包括下述步骤:一、制备PMN‑PT前驱体溶液:二、利用稀土元素制备均匀掺杂稀土元素的PMN‑PT前驱体溶液;三、将掺杂稀土元素PMN‑PT前驱体溶液在Pt/TiO2/SiO2/Si基底上旋涂均匀,薄膜退火结晶得到掺杂稀土元素PMN‑PT薄膜。本发明通过稀土元素掺杂,显著提高驰豫铁电PMN‑PT薄膜介电和热释电性能。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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