发明专利已授权

一种利用全固态电池实现的增强型III-VHEMT器件

📄 申请号：CN201810405244.6 📄 发布日：2026/06/09

著录项目信息

申请日

2018-04-29

公开号

CN108598161B

公开日

2021-03-09

申请人

杭州电子科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L29_778

IPC 分类号

H01L29_778 , H01L29_06 , H01L27_06 , H01L21_335 ,

技术画像

所属领域

高电子迁移率晶体管高电子迁移率晶体管 III-V族半导体器件全固态电池技术

应用场景

射频功率放大器, 5G通信, 雷达系统, 功率电子器件, 新能源汽车

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摘要

本发明公开了一种利用全固态电池实现的增强型III‑V HEMT器件，在衬底上依次形成第二半导体层和第一半导体层并在所述第二半导体层和第一半导体层之间形成异质结构；源电极和漏电极通过形成于该异质结构中的二维电子气电连接；栅电极用于控制所述异质结构中二维电子气的导通或断开；还包括设置在所述源电极和栅电极之间的全固态电池，所述全固态电池由至少1组电池单元串联或串并联构成，用于使异质结构相应区域中二维电子气耗尽。本发明能有效实现增强型工作模式，此外，全固态电池是与微纳加工工艺兼容的，可以在器件的工艺过程中一次完成。同时，器件的阈值电压可通过串联固态电池的单元数来改变。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种利用全固态电池实现增强型III-VHEMT器件的方法

当前第 / 件

一种活性炭粉末荷电离散喷射装置（需要二次变更）

同领域国内专利 · IPC: (H01L29_778)

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