发明专利已授权

一种金属箔片表面金属掺杂的氧化锌复合电极薄膜及其制备方法

📄 申请号：CN201711205257.0 📄 发布日：2025/12/23

著录项目信息

申请日

2017-11-27

公开号

CN108039379B

公开日

2019-11-12

申请人

至信搏远(安徽)新材料科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L31_0224

IPC 分类号

H01L31_0224 , H01L31_18 ,

技术画像

所属领域

氧化锌基复合材料氧化锌基复合材料电极材料薄膜制备

应用场景

储能系统, 超级电容器, 锂离子电池, 柔性电子器件

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摘要

本发明公开了一种金属箔片表面金属掺杂的氧化锌复合电极薄膜。是在金属箔片上利用双层辉光等离子物理溅射沉积技术一步来实现金属箔片/ZnO薄膜电极的制备。具体是将金属箔片作为基片丙酮清洗，高压氮气烘干处理；高纯低熔点金属Zn靶作为ZnO的金属元素溅射源，用丙酮进行清洗，同时通入氩气和氧气作为金属氧化物的合成气氛条件；将预处理好的基片和靶材样品放入双层辉光等离子溅射腔室内，同步实现基体金属元素在氧化物薄膜中的掺杂而形成的氧化物复合薄膜。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20191112

✅ 授权

20180608

?? 实质审查的生效：

20180515

📄 公开

基于琼斯矩阵的偏振激光雷达标定方法及偏振激光雷达

当前第 / 件

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