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发明专利
已授权
一种低导通电阻绝缘体上硅横向绝缘栅双极型晶体管
📄 申请号:CN201810954843.3
📄 发布日:2025/12/10
著录项目信息
申请日
2018-08-21
公开号
CN109065609B
公开日
2021-08-17
申请人
电子科技大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
H01L29_06
IPC 分类号
H01L29_06
,
H01L29_739
,
技术画像
所属领域
功率半导体器件
功率半导体器件
绝缘体上硅(SOI)技术
横向绝缘栅双极型晶体管
应用场景
功率集成电路, 电源管理, 工业自动化, 新能源汽车电驱动, 光伏逆变器
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摘要
本发明涉及功率半导体技术,特别涉及一种低导通电阻绝缘体上硅横向绝缘栅双极型晶体管。本发明对传统横向绝缘栅双极型晶体的阴极区进行了改造,通过隔离氧化层分隔成第一NMOS区、第二NMOS区和传统LIGBT区。第一NMOS的漏极通过金属互联与传统LIGBT的N+源区相连,第一NMOS的栅极通过金属互联与传统LIGBT的栅极相连作为本发明器件栅极,第二NMOS的漏极及栅极同时与传统LIGBT的P+源区相连,第一NMOS的源极通过金属互联与第二NMOS的源极连接在一起作为本发明器件的阴极。在线性工作区工作时,传统LIGBT区内发生了闩锁,漂移区中充满大量的电子空穴对,电导调制强烈,因此器件导通电阻极大地减小。另外,可以通过控制第二NMOS沟道的掺杂浓度来改变器件的饱和电流值,满足实际运用的需要。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种具有混合导电模式的LIGBT
当前第 / 件
一种低功耗绝缘体上硅横向绝缘栅双极型晶体管
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