发明专利已授权

集成有多端口光波导的低维材料异质结光电探测器的制备万法

📄 申请号：CN202110401485.5 📄 发布日：2026/04/10

著录项目信息

申请日

2020-01-17

公开号

CN113284962B

公开日

2022-08-02

申请人

淮阴工学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L31_0232

IPC 分类号

H01L31_0232 , H01L31_109 , H01L31_18 ,

技术画像

所属领域

低维材料异质结低维材料异质结光波导器件光电探测器

应用场景

光通信, 光互连, 光电探测, 光传感, 集成光电子

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摘要

本发明涉及集成芯片领域，公开了一种集成有多端口光波导的低维材料异质结光电探测器的制备方法，制备的光电探测器中：路由光波导和多端口光波导均形成于衬底上，多端口光波导由N≥4个锥形输入光波导和一个中心多模光波导组成；1×2第一光分束器设置在路由光波导的光耦合输入端，每两个锥形输入光波导的输入端连接一个分别与1×2第一光分束器连接的1×2第二光分束器；低维材料异质结薄膜覆盖在多端口光波导的表面，在其两端、中心多模光波导的四周还分别对角覆盖第一、第二正电极和第一、第二负电极；低维材料异质结薄膜与中心多模光波导的传输方向垂直设置。本探测器能够探测出高功率和多波段的光信号，响应度较高，光‑电响应带宽较大。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20221227

⏳ 专利实施许可合同备案的生效：

20220802

✅ 授权

20210907

?? 实质审查的生效：

20210820

📄 公开

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