摘要
本发明公开了一种具有多种部分埋层的绝缘层上硅LDMOS晶体管。本发明衬底层上为全埋氧层;全埋氧层上为硅膜层;源区和硅体位于硅膜层一侧,且源区位于硅膜层顶部;漂移区、漏区、部分埋氧层、部分P型硅埋层和部分N型硅埋层位于硅膜层另一侧,且漏区位于硅膜层顶部;漏区、部分埋氧层、部分P型硅埋层和部分N型硅埋层之间的区域为漂移区;部分P型硅埋层位于部分埋氧层上面,部分埋氧层长度大于部分P型硅埋层长度;沟道由源区和漂移区之间的硅体提供;器件顶层包括栅氧化层、扩展氧化层、源电极、栅电极和漏电极;栅氧化层位于沟道上面;扩展氧化层位于漂移区上面;栅氧化层被栅电极全部覆盖。本发明的击穿电压和导通电阻性能更加优越。