一种铝镓氮基紫外发光二极管外延层结构及其制备方法

摘     要：本发明公开了一种铝镓氮基紫外发光二极管外延层结构，包括由下至上依次叠置的蓝宝石衬底、成核层、Alx1Ga1‑x1N过渡层、Alx2Ga1‑x2N缓冲层、Alx3Ga1‑x3N缓冲层、Alx4Ga1‑x4N缓冲层、n型Alx5Ga1‑x5N层、Alx6Ga1‑x6N/Alx7Ga1‑x7N多量子阱层、p型Alx8Ga1‑x8N电子阻挡层、p型Alx9Ga1‑x9N层、p型Alx10Ga1‑x10N层和p型Alx11Ga1‑x11N层，所述Alx1Ga1‑x1N过渡层远离所述蓝宝石衬底的一面均匀设置有纳米级凹腔结构，0＜x1≤x2＜x3≤x4≤x5＜1，0＜x11＜x10≤x9≤x8＜1，0＜x7＜x5≤x6＜1，x9≤x5。本发明还公开了铝镓氮基紫外发光二极管外延层结构的制备方法。本发明铝镓氮基紫外发光二极管外延层结构，解决AlGaN基薄膜内部的各种缺陷密度过高、掺杂困难、发光效率普遍较低等不足，提高出光效率。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注