摘要
本发明公开了一种LED芯片、垂直结构的LED外延片及其制备方法,其中,制备方法包括:在清洗后的金属衬底表面生长GaN成核层,并在GaN成核层表面生长P型GaN层;在P型GaN层表面生长GaN阻挡层,并在GaN阻挡层表面生长多量子阱层;在多量子阱层上生长N型GaN层,以得到垂直结构的LED外延片。本申请公开的上述技术方案,直接在金属衬底上依次生长GaN成核层、P型GaN层、GaN阻挡层、多量子阱层、及N型GaN层,以得到垂直结构的LED外延片,这样就不需要对LED外延片的衬底进行剥离和键合,因此,则可以提高LED外延片的制备效率,并且可以提高最终所制备出的LED外延片的良品率和内量子效率。