发明专利已授权

一种三维应变Si双极结型晶体管及其制备方法

📄 申请号：CN202111113232.4 📄 发布日：2026/05/07

著录项目信息

申请日

2021-09-23

公开号

CN113838923A

公开日

2021-12-24

申请人

燕山大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L29_10

IPC 分类号

H01L29_10 , H01L29_06 , H01L29_161 , H01L29_73 , H01L21_331 ,

技术画像

所属领域

半导体器件半导体器件双极结型晶体管应变硅技术

应用场景

集成电路, 高频器件, 模拟电路, 射频器件, 半导体制造

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摘要

现有双极结型晶体管增益小特征频率小，并要求小尺寸化。本申请提供了一种三维应变Si双极结型晶体管，在第一方向上，包括依次设置的p型Si衬底、n+发射区、SiO2浅沟道隔离结构、SiO2层、鳍型半导体p型基区、SiGe应变外延层和n型集电区，第一方向为由衬底指向n型集电区的方向；鳍型半导体p型基区上设置有n型集电区；SiO2层上设置有发射极接触，SiGe应变外延层上设置有基极接触，P型集电区上设置有集电极接触；SiGe应变外延层对鳍型半导体p型基区和n型集电区同时施加单轴拉应力。电子迁移率增加，减小基区与集电区渡越时间，增加器件的特征频率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种加热炉智慧温控PC端及移动端远程云测控系统

当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：72 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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