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一种双极结型晶体管及其制备方法

📄 申请号：CN202111113203.8 📄 发布日：2026/05/07

著录项目信息

申请日

2021-09-23

公开号

CN113851526B

公开日

2023-11-07

申请人

燕山大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L29_06

IPC 分类号

H01L29_06 , H01L29_10 , H01L29_73 , H01L21_331 ,

技术画像

所属领域

双极结型晶体管双极结型晶体管半导体器件半导体制造工艺

应用场景

集成电路, 功率电子, 高频通信, 模拟电路, 电子设备

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摘要

本申请属于半导体集成电路技术领域，特别是涉及一种双极结型晶体管及其制备方法。现有双极结型晶体管增益小特征频率小，并要求小尺寸化。本申请提供了一种双极结型晶体管，在第一方向上，包括依次设置的n型Si衬底、p+发射区、SiO2浅沟道隔离结构、SiO2层、鳍型半导体n型基区、SiC应变外延层和P型集电区，第一方向为由衬底指向P型集电区的方向；鳍型半导体n型基区上设置有P型集电区；SiO2层上设置有发射极接触，SiC应变外延层上设置有基极接触，P型集电区上设置有集电极接触；SiC应变外延层对鳍型半导体n型基区和P型集电区同时施加单轴压应力，空穴迁移率增加，减小基区与集电区渡越时间，增加器件的特征频率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种孤岛模式下逆变器并联的高频振荡抑制方法

当前第 / 件

一种锂电池极片干燥设备

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：88 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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