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摘 要:本实用新型公开了一种基于Si基GAN的Micro LED的外延结构,所述Micro LED的外延结构的Si基外延从下到上依次包括:Si衬底、单晶ALN缓冲层、ALGaN应力调节层、低掺杂Si浓度的NGaN层、n型AlGan层、高掺杂Si浓度NGan层、MQW层、电子阻挡层、PGan层和接触层;其中,MQW层为至少一个GaN/AlGaN/InGaN层。该结构利于硅基衬底湿法剥离,制备垂直结构Micro LED芯片,节省后制程成本,提高良率。该结构具体限定了ALN层为单晶缓冲ALN层,其有效改善了Micro‑LED的晶体质量和外观缺陷。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202221309534.9 | 专利名称: | 一种基于SI基GAN的Micro LED的外延 |
申请日: | 2022-05-26 | 申请/专利权人 | 广州市众拓光电科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 广东省广州市黄埔区开源大道136号B2栋1103室 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L33/12搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 2022-11-29 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN217933824U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |