发明专利 已授权

一种双直线电机差动微进给伺服系统及控制方法

📄 申请号:CN202010517725.3 📄 发布日:2026/06/04

著录项目信息

申请日
2020-06-09
公开号
CN111610753B
公开日
2021-10-08
申请人
山东金元建筑科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

数控机床, 精密加工, 半导体制造, 微纳定位, 工业自动化

摘要

本公开提出一种双直线电机差动微进给伺服系统及同步控制方法,包括:控制上工作台直线电机A及控制下工作台永磁直线电机B;其中,所述直线电机B驱动下工作台直线运动,所述直线电机A驱动上工作台直线运动,两者运动瞬时速度大小近乎相等,方向相反,通过两者的宏观运动叠加,上、下两工作台差动合成微量进给,从而避开爬行现象的影响;这种新型微进给系统的研究,对数控装备新概念设计、加工性能提高、超精密加工技术发展,具有深远意义。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:63 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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