实用新型已授权

一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台

📄 申请号：CN202022045490.0 📄 发布日：2025/09/17

著录项目信息

申请日

2020-09-17

公开号

CN213327810U

公开日

2021-06-01

申请人

山东沐东真空科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C23C14_35

IPC 分类号

C23C14_35

技术画像

所属领域

磁控溅射镀膜设备真空镀膜设备传送机构磁控溅射磁控溅射镀膜磁控溅射镀膜设备

应用场景

半导体制造, 光学镀膜, 平板显示, 太阳能电池, 表面处理

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摘要

本实用新型公开了一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台，包括支撑腿、把手、侧板、防护布、固定条、保护框、活动轴、轴承、连接板、底板、活动滚和传动带，所述侧板共设有两个，且两个侧板的下侧两端均固定有支撑腿，支撑腿共设有四个，四个支撑腿的内侧中间处通过底板相连接，两个所述侧板的下侧两端均通过连接板相连接，且连接板位于支撑腿的外侧，两个所述侧板的中间处均等距固定有轴承，两个侧板之间通过活动轴相连接，且活动轴的两端均位于轴承的内侧，所述活动轴的中间处均套接有活动滚，所述传动带套接在活动滚的外侧，所述侧板一端的活动轴固定有把手，且把手位于侧板的外侧。本实用新型有利于对太阳能板进行均匀镀膜传送的优点。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20210601

✅ 授权

一种真空镀膜机基片架传送装置

当前第 / 件

一种磁控溅射设备的抽气装置

同领域国内专利 · IPC: (C23C14_35)

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议价

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