实用新型已授权

一种磁控溅射设备的抽气装置

Name: 一种磁控溅射设备的抽气装置
Brand: 山东沐东真空科技有限公司
SKU: 2020220455049
Availability: InStock

📄 申请号：CN202022045504.9 📄 发布日：2026/01/16

著录项目信息

申请日

2020-09-17

公开号

CN213327822U

公开日

2021-06-01

申请人

山东沐东真空科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C23C14_56

IPC 分类号

C23C14_56 , C23C14_35 ,

技术画像

所属领域

磁控溅射设备磁控溅射设备真空镀膜设备真空抽气系统

应用场景

半导体制造, 平板显示制造, 太阳能电池制造, 光学镀膜, 真空镀膜

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摘要

本实用新型公开了一种磁控溅射设备的抽气装置，包括抽气箱体，所述抽气箱体的内部固定连接有抽气泵，所述抽气管道的一端固定连接有抽气接头，所述抽气泵的上方固定连接有输气管道，所述输气管道的一端固定连接有冷凝装置，所述输液管道的一端固定连接有过滤装置，所述过滤装置的一侧固定连接有液体输出管，所述底座的上表面开设有滑槽，所述滑动块的一侧与弹簧固定连接，所述滑动块与滑槽滑动连接。本实用新型通过冷凝装置和过滤装置的设置，便于通过冷凝器对抽入的气体进行冷凝，有利于快速对气体的温度进行降低，同时便于对气体及冷却液体内部的杂质及有害物质进行过滤，避免有害气体直接排出对环境造成的污染。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN213327822U

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20210601

✅ 授权

一种真空镀膜机基片架传送装置

当前第 / 件

民用轴流风机

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：102 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 已报项目

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