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| 专利/申请号： | CN202022045504.9 | 专利名称： | 一种磁控溅射设备的抽气装置 |
| 申请日： | 2020-09-17 | 申请/专利权人 | 山东沐东真空科技有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 山东省聊城市阳谷县博济桥办事处谷山路南段(建委对过) |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | C23C14/56 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2021-06-01 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN213327822U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 36 | 所属领域： | 半导体制造设备 真空镀膜技术 表面处理工艺专利转让搜索 |
应用场景：集成电路薄膜沉积;光学涂层制备;功能材料溅射成型;科研实验中的高精度真空环境控制
摘 要：本实用新型公开了一种磁控溅射设备的抽气装置，包括抽气箱体，所述抽气箱体的内部固定连接有抽气泵，所述抽气管道的一端固定连接有抽气接头，所述抽气泵的上方固定连接有输气管道，所述输气管道的一端固定连接有冷凝装置，所述输液管道的一端固定连接有过滤装置，所述过滤装置的一侧固定连接有液体输出管，所述底座的上表面开设有滑槽，所述滑动块的一侧与弹簧固定连接，所述滑动块与滑槽滑动连接。本实用新型通过冷凝装置和过滤装置的设置，便于通过冷凝器对抽入的气体进行冷凝，有利于快速对气体的温度进行降低，同时便于对气体及冷却液体内部的杂质及有害物质进行过滤，避免有害气体直接排出对环境造成的污染。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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