发明专利已授权

具有高硬度和高结合力的CrAlN纳米梯度涂层及其制备工艺

📄 申请号：CN201910327298.X 📄 发布日：2026/08/24

著录项目信息

申请日

2019-04-23

公开号

CN110004409A

公开日

2019-07-12

申请人

天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_06

IPC 分类号

C23C14_06 , C23C14_35 , C23C14_32 , C23C14_14 , B82Y40_00 ,

技术画像

所属领域

纳米材料纳米材料表面工程物理气相沉积

应用场景

刀具涂层, 模具涂层, 机械零部件防护, 耐磨部件

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摘要

本发明公开了一种具有高硬度和高结合力的CrAlN纳米梯度涂层及其制备工艺，属于涂层制备技术领域。采用电弧离子镀和磁控溅射复合镀技术在基材上制备了CrAlN纳米梯度涂层，镀膜前先通入Ar气，采用-600～1000V偏压，对基体进行辉光清洗10～30min，随后开启Cr靶，并逐渐降低偏压至-20～-100V，沉积金属Cr过渡层5～20min；通入N2，保持5～40min沉积CrN层；开启Al靶，使Al靶功率线性增加，沉积成分连续变化的CrAlN纳米梯度涂层。本发明涉及的CrAlN纳米梯度涂层组织致密，硬度高，与基体具有很高的结合力，制备工艺简单，重复性好，容易工业化生产。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

一种GPU中显式独立掩码寄存器的掩码操作方法

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