本发明公开了一种具有纳米晶/非晶复合结构或单一非晶结构的AlCrTiSiN复合涂层及其制备。该涂层采用脉冲直流磁控溅射和射频直流磁控溅射复合技术沉积而成，靶材选用AlCrTi合金靶与单质Si靶。合金靶与直流电源连接，单质Si靶与射频电源连接。镀膜时开启AlCrTi合金靶，调整偏压至‑20～150V并将真空室压强调至0.3～1.0Pa，沉积AlCrTi过渡层，沉积时间10～30min。保持AlCrTi开启并通入反应气体N2，开启Si靶沉积AlCrTiSiN纳米复合涂层。本发明研制的AlCrTiSiN纳米复合涂层制备工艺简单，成分可控，可重复性好，易于工业化生产，具有很强的实用性。
📄 2022114620273
📂 C23C14_06
👤 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
📅 2022-11-22
本发明公开了一种具有高硬度和高结合力的CrAlN纳米梯度涂层及其制备工艺，属于涂层制备技术领域。采用电弧离子镀和磁控溅射复合镀技术在基材上制备了CrAlN纳米梯度涂层，镀膜前先通入Ar气，采用-600～1000V偏压，对基体进行辉光清洗10～30min，随后开启Cr靶，并逐渐降低偏压至-20～-100V，沉积金属Cr过渡层5～20min；通入N2，保持5～40min沉积CrN层；开启Al靶，使Al靶功率线性增加，沉积成分连续变化的CrAlN纳米梯度涂层。本发明涉及的CrAlN纳米梯度涂层组织致密，硬度高，与基体具有很高的结合力，制备工艺简单，重复性好，容易工业化生产。
📄 201910327298X
📂 C23C14_06
👤 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
📅 2019-04-23
本发明涉及材料摩擦磨损与固体润滑技术领域，尤其涉及一种WSx/Me/a-C/Me纳米多层结构固体润滑膜及其制备方法，所述固体润滑膜包括基体(1)，金属过渡层(2)和纳米多层膜(3)，所述纳米多层膜为由若干纳米复合单元组成的层状结构，所述纳米复合单元包括WSx层(4)，金属层(5)，非晶态碳膜层(6)和金属亚层(7)，所述金属层和金属亚层的材料相同或不同。本发明的固体润滑膜具有优异的抗氧化性能，摩擦因数较低，承载能力及耐磨性优良，与基体结合状态较好，使用寿命长；制备工艺简单，沉积过程易控制，成本低且制备过程安全无污染；能够应用于机械领域零部件表面的润滑防护膜，具有广阔的应用前景。
📄 2018107191027
📂 C23C14_06
👤 浙江工业大学
📅 2018-07-03
一种耐磨二硫化钨薄膜的制备方法，包括如下步骤：(1)对单晶硅片进行前处理，使其表面清洁、粗糙度不高于Ra 0.1；将石墨靶、WS2靶和前处理后的单晶硅片装入多靶磁控溅射沉积室，将沉积室的气压抽至1.0×10‑3 Pa后，调整好靶基距，并将脉冲直流负偏压施加至基材上；(2)通入高纯氩气为工作气体，然后以石墨靶作为溅射靶材，于单晶硅片表面沉积厚度为20nm～400nm的非晶态碳膜；(3)将步骤(2)所得非晶态碳膜的温度调整到200℃，然后以WS2靶为溅射靶材，在非晶态碳膜上沉积厚度为140～740nm的WS2薄膜，从而获得二硫化钨薄膜。本发明方法工艺简单、经济性较好，能显著提高二硫化钨薄膜的力学性能以及在真空或潮湿环境中的耐磨性能。
📄 201710207006X
📂 C23C14_06
👤 浙江工业大学
📅 2017-03-31
本发明公开了一种纳米多层结构WSx/DLC润滑膜及制备方法，制备方法主要包括：(1)对基体进行前处理，使其表面清洁、光滑；(2)在多靶磁控溅射沉积系统中安装WS2靶、石墨靶和前处理后的基体，并将沉积室气压抽至1.5×10‑3Pa以下，调整靶基距和基体直流负偏压，通入高纯氩气并获得稳定气压；(3)加热基体到一定温度，然后以WS2靶和石墨靶为溅射靶材，在基体表面交替沉积WSx膜和DLC膜，通过沉积时间控制多层膜的调制周期、DLC膜厚和薄膜厚度等参数，从而获得特定结构特征的WSx/DLC纳米多层膜。本发明方法工艺简单、经济性好，制得的纳米多层膜硬度高(>9.5GPa)、结合力好(>36N)、内应力小(<370MPa)，在真空及潮湿大气环境中的耐磨性能优异(大气、真空中的摩擦因数低于0.17和0.1，磨损率<3×10‑15m3/Nm量级)，摩擦学性能的环境敏感性显著降低，具有较好的应用前景。
📄 2017104235419
📂 C23C14_06
👤 浙江工业大学
📅 2017-06-07
本发明涉及表面防腐涂层技术领域，具体公开了一种AlN/Si/SiN/AlSiN/AlN/Al多层梯度结构涂层的制备方法和涂层，包括在基底表面依次沉积Al层、AlN层、AlSiN层、SiN层、Si层以及AlN层的步骤，还包括在沉积所述AlN层和/或所述AlSiN层的步骤之前，分别进行晶体生长调控处理的步骤。本发明提供的制备方法及涂层，形成了Al、Si元素双相梯度多层结构涂层，元素的梯度效应可以弱化腐蚀电荷的传输动力，提升涂层的耐腐蚀性能，同时采用晶体生长调控处理，抑制了AlSiN/AlN/Al层间的连续柱状生长缺陷，非连续生长结构封堵了腐蚀离子的渗入路径，进而极大提升了涂层的防腐性能。
📄 2023104119610
📂 C23C14_06
👤 西南大学, 深圳森丰真空镀膜有限公司
📅 2023-04-17
本发明涉及表面涂层技术领域，具体涉及一种薄膜传感器用绝缘耐磨防护涂层及其制备方法，该涂层由下而上依次包括金属衬底、CrN过渡层、AlCrN支撑层、AlCrSiON功能层，在氩离子刻蚀清洗后的金属衬底表面，采用电弧离子镀技术首先沉积0.2μm厚的CrN过渡层，然后沉积0.7μm厚的AlCrN支撑层，最后沉积0.5～3μm厚的AlCrSiON功能层厚度，所述AlCrSiON功能层主要由fcc‑(Al,Cr)N和fcc‑(Al,Cr)2O3混合相组成，通过实验证明，通过上述方案得到的绝缘耐磨涂层不仅具有优异的界面结合性能和耐磨损性能，而且具有较高的电阻值和电阻率，适用于薄膜传感器的表面防护。
📄 2022105898612
📂 C23C14_06
👤 安徽工业大学
📅 2022-05-26
本发明涉及硬质涂层制备技术领域，具体涉及一种含有多层结构的高强韧纳米复合涂层及其制备方法，使用高功率脉冲磁控溅射技术在金属基体上制备具有多层结构的纳米复合AlTiSiN涂层，由下至上依次包括沉积在金属基体表面的AlTiN粘结层，多层AlTiN/TiSiN支撑层和TiSiN工作层，支撑层中TiSiN涂层Si含量为3～7％，工作层TiSiN中Si含量为8～15％。采用低负偏压AlTiN粘结层改善涂层结合力，采用多层支撑层降低涂层内应力，提高涂层韧性，同时引入多层界面结构，降低涂层缺陷，提高涂层致密度；通过控制氮气流量和占空比调节工作层TiSiN中Si含量，提高纳米复合涂层的硬度和耐磨性，制备的多层结构纳米复合涂层工艺简单，膜层光滑致密，具有较高的硬度和膜基结合力，良好的抗磨损性能。
📄 2022108932899
📂 C23C14_06
👤 安徽工业大学
📅 2022-07-27
本发明公开了一种高速缝纫机针杆离子镀GIC镀层实现无油化的处理方法，将针杆清洗干燥后放入四靶磁控溅射离子镀设备的真空室中；抽真空，通入氩气，然后进行离子轰击清洗；再进行镀膜的工艺，控制氩气流量，同时开启若干铬靶和石墨靶的靶材，控制好各个工作参数；断电后取出针杆即成。本发明方法处理后的针杆具有自润滑功能，用于高速缝纫机上，完全解决了针杆磨损加快的问题，还不会对缝纫产品造成污染，提高了工作效率。
📄 2008100174864
📂 C23C14_06
👤 西安理工大学
📅 2008-02-03
本发明公开了一种用于高速缝纫机旋梭离子镀GIC镀层实现无油化的处理方法，按照以下的步骤实施，将旋梭的内梭和外梭清洗、干燥后放入多靶磁控溅射离子镀设备的真空室中；抽真空，通入氩气，然后进行离子轰击清洗；再进行镀膜的工艺，调整好各工作参数，同时开启若干铬靶和石墨靶；断电后取出内梭和外梭即得。本发明的处理方法所处理的内梭和外梭，用于高速缝纫机上，完全解决了润滑旋梭对缝纫产品造成污染的问题，还大大减轻了因为磨损而产生的噪声，提高了工作效率，具有良好的使用前景。
📄 2008100174883
📂 C23C14_06
👤 西安理工大学
📅 2008-02-03
本发明公开了一种高熵合金氮化物涂层的高硬度材料及其制备方法，由位于基片表面的Cr过渡层、位于该Cr过渡层表面的CrN过渡层、以及位于该CrN过渡层表面的氮化物涂层组成；该氮化物涂层利用射频溅射法由氮气和高熵合金沉积制得，Cr过渡层的厚度为80‑150nm，CrN过渡层的厚度为50‑100nm，氮化物涂层的厚度为1.5‑2.5μm；发明所得的高熵合金氮化物涂层的高硬度材料不但具有超过50GPa的高硬度，并且具有优良的磨损性能；该涂层生产工艺简单、沉积速度快、成本低等特点，并且具有生产效率高、能耗低，对设备要求较低等优点，可适用于硬质刀具涂层。
📄 2018114077613
📂 C23C14_06
👤 西安工业大学
📅 2018-11-23
本发明涉及一种低应力类金刚石薄膜的制备方法。本发明的目的是要在保证DLC薄膜的光学透过率及硬度的基础上，减小其应力。所提供的技术方案是：一种提高类金刚石薄膜抗激光损伤能力的方法，是在DLC及介质薄膜的表面形成具有闭环的磁通路，且使闭环的磁通量具有最大的梯度。所提供的装置包括导磁外框，在外框内设置有一对永磁铁，第一永磁铁和第二永磁铁，第一永磁铁和第二永磁铁的距离可调。利用本发明的方法，对于DLC薄膜可以将损伤阈值从0.57 J/cm2提高到1.23 J/cm2。对于介质薄膜，可以使激光损伤面积减少50%左右。
📄 2019103485276
📂 C23C14_06
👤 陕西越碳新材科技有限公司
📅 2019-04-28
柿子坊 · 知识产权运营
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