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| 专利/申请号： | CN202022045470.3 | 专利名称： | 一种真空镀膜机基片架传送装置 |
| 申请日： | 2020-09-17 | 申请/专利权人 | 山东沐东真空科技有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 山东省聊城市阳谷县博济桥办事处谷山路南段(建委对过) |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | C23C14/56 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2021-06-01 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN213327821U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 3 | 所属领域： | 机械制造 自动化控制 半导体设备 光学薄膜技术专利转让搜索 |
应用场景：半导体晶圆加工中的真空镀膜工艺传输环节;光学镜片表面增透膜沉积过程的基片流转;显示面板制造时功能薄膜均匀性保障的载具移动系统;光伏电池生产中硅片连续化镀膜作业的精准定位传送
摘 要：本实用新型公开了一种真空镀膜机基片架传送装置，包括底板，所述底板的顶部固定连接有液压气缸，所述液压气缸的一端固定连接有顶板，所述顶板的顶部固定连接有传动板，所述传动板的一端固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出端固定连接有丝杠，所述丝杠的表面螺纹连接有移动块，所述移动块的顶部固定连接有固定装置。本实用新型过液压气缸和伺服电机的设置，解决了基片进出是在不同真空室完成的问题，节约了成本，提高了工作效率；通过固定装置的设置，可以调节夹紧板的位置对不同大小的基片进夹紧固定，解决了以往装置不能对不同大小的基片进行固定的问题，使基片固定更加稳定，防止基片在传送过程中掉落。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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