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发明专利
已授权
具有纳米晶/非晶复合结构或单一非晶结构的AlCrTiSiN纳米复合涂层及其制备
📄 申请号：CN202211462027.3
📄 发布日：2026/08/24
著录项目信息
申请日
2022-11-22
公开号
CN116904923B
公开日
2025-12-09
申请人
天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
C23C14_06
IPC 分类号
C23C14_06
,
C23C14_35
,
C23C14_16
,
C23C14_02
,
技术画像
所属领域
纳米复合涂层
纳米复合涂层
非晶/纳米晶结构
薄膜制备技术
应用场景
切削工具涂层, 模具表面强化, 耐磨防护涂层, 航空航天零部件, 汽车零部件
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摘要
本发明公开了一种具有纳米晶/非晶复合结构或单一非晶结构的AlCrTiSiN复合涂层及其制备。该涂层采用脉冲直流磁控溅射和射频直流磁控溅射复合技术沉积而成，靶材选用AlCrTi合金靶与单质Si靶。合金靶与直流电源连接，单质Si靶与射频电源连接。镀膜时开启AlCrTi合金靶，调整偏压至‑20～150V并将真空室压强调至0.3～1.0Pa，沉积AlCrTi过渡层，沉积时间10～30min。保持AlCrTi开启并通入反应气体N2，开启Si靶沉积AlCrTiSiN纳米复合涂层。本发明研制的AlCrTiSiN纳米复合涂层制备工艺简单，成分可控，可重复性好，易于工业化生产，具有很强的实用性。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
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📌 交易状态：
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