发明专利已授权

具有高硬度和高抗氧化性能的CrAlN/AlN纳米多层涂层及其制备方法

📄 申请号：CN202010234046.5 📄 发布日：2026/08/24

著录项目信息

申请日

2020-03-30

公开号

CN111304612B

公开日

2022-02-08

申请人

天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_35

IPC 分类号

C23C14_35 , C23C14_32 , C23C14_06 ,

技术画像

所属领域

纳米多层涂层纳米多层涂层硬质涂层表面防护涂层

应用场景

切削刀具, 模具涂层, 耐磨零部件, 高温防护涂层, 精密机械加工

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摘要

本发明公开了一种具有高硬度和高抗氧化性能的CrAlN/AlN纳米多层涂层及其制备方法，属于涂层制备技术领域。采用电弧离子镀和磁控溅射复合技术在金属或硬质合金基体上制备CrAlN/AlN纳米多层涂层。选用纯金属CrAl和Al作为靶材，通过控制CrAl靶电流和Al靶功率，调控涂层CrAlN层和AlN层调制周期。本发明制备的CrAlN/AlN纳米多层涂层组织结构致密，具有很高的硬度和抗高温氧化性能及耐蚀性能，并与基体之间结合良好。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种医用不锈钢超细丝材多道次连续拉拔方法

当前第 / 件

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