本发明涉及一种纳米复合涂层及其制备技术，具体地说是一种具有高Al含量的AlCrN纳米复合涂层的制备工艺。采用电弧离子镀技术在金属或硬质合金基体上制备AlCrN纳米复合涂层。选用纯金属Al和Cr作为靶材，通过控制Al靶和Cr靶的电流，调控涂层中Al和Cr元素的含量。纯Cr靶和Al靶各4个，相间地均匀分布在炉体内壁上。镀膜前先通入Ar气，采用‑600~1000 V偏压，对基片进行辉光清洗10~20 min，随后开启Cr靶，对基体进行轰击清洗，并逐渐降低偏压至‑30~100V，沉积金属Cr层。最后再通入N2，开启Al靶，沉积AlCrN涂层。本发明涉及的AlCrN纳米复合涂层制备工艺简单，容易工业化生产；制备出的AlCrN涂层具有很高的硬度和强度，良好的耐高温氧化性能和耐蚀性能。
📄 2017101555006
📂 C23C14_34
👤 天津职业技术师范大学
📅 2017-03-16
本发明公开了一种纳米机器人的制备方法，会先在基板表面涂覆武德合金薄膜，并将武德合金薄膜刻蚀成凸起。然后会在凸起表面镀覆盖凸起的磁性薄膜，此时磁性薄膜中形成有对应凸起的腔体，该腔体可以用于载药。之后会加热武德合金材质的凸起，以将磁性薄膜与基板分离，最后切割磁性薄膜即可制成纳米机器人。通过镀膜设备在基板表面镀磁性薄膜的速度非常快，可以有效降低纳米机器人的制作成本；且通过镀膜设备制备的磁性薄膜的厚度通常较为均匀，构成磁性薄膜的各个组分之间也会充分的混合，磁性薄膜本身的致密性也会显著提高。本发明还提供了一种纳米机器人，同样具有上述有益效果。
📄 2019101563995
📂 C23C14_34
👤 湖南早晨纳米机器人有限公司
📅 2019-03-01
本实用新型公开了一种环靶烧结防粘连装置，包括底座，所述底座的上端面固定连接有烧结槽，所述底座的上端面位于烧结槽的后方固定连接有固定板，所述固定板的前端面开设有凹槽，所述凹槽内设有连接板，所述连接板位于凹槽外的一端设有多个等间距设置的喷液口，多个所述喷液口位于烧结槽的正上方，所述凹槽内设有用于对连接板进行移动的移动机构，所述底座的上端面设有用于对喷液口进行供液的供液机构，所述底座内用于对产品进行二次防粘连的顶升机构。本实用新型将防粘连液均匀的喷在烧结槽的底部，较小产品粘连的情况出现，再通过两个凸轮将顶杆顶起，从而轻易的将产品与烧结槽分离，避免强行分离对产品的质量造成影响。
📄 2021230763553
📂 C23C14_34
👤 上海博译金属有限公司
📅 2021-12-09
本实用新型公开了一种靶材烧结用防蒸发溅射装置，包括管道，所述管道右端固定连接有喷射管，所述管道侧壁设有冷却机构，所述冷却机构包括安装板，所述安装板上侧壁固定连接有固定框，所述安装板上侧壁固定连接有循环泵，所述安装板侧壁嵌设有冷凝管，所述循环泵的出水端通过出水管与冷凝管一端连通，所述安装板上侧壁固定连接有水箱，所述固定框上侧壁固定连接有马达，所述马达的输出轴固定连接有转杆。本实用新型不仅实现了水循环，还能保证冷凝管内的水温一直较低，并且加快了水箱内水温的降低速度，进一步确保冷凝管对管道内原料的冷却，防止原料在喷射的过程中由于蒸发而损耗，保证材料的利用率。
📄 2021230749518
📂 C23C14_34
👤 上海博译金属有限公司
📅 2021-12-09
本发明涉及光学元件表面平坦化方法。本发明主要针对单点金刚石车床车削后的磷酸二氢钾（KH2PO4又称KDP）非线性光学晶体材料作为加工对象，采用离子束溅射沉积的方法在磷酸二氢钾光学晶体材料的光学表面沉积一层硅或者二氧化硅或者二氧化硅与硅的复合薄膜，再经真空冷却后在磷酸二氢钾光学晶体材料表面形成一层表面粗糙度较低的硅薄膜或二氧化硅薄膜或二者组成的复合薄膜，薄膜层的上表面为平坦化表面。本发明在磷酸二氢钾表面形成一层机械性能良好、性质稳定、表面粗糙度低且致密的硅薄膜或二氧化硅薄膜或二者的复合薄膜，工艺过程简单，在低温真空环境就能在磷酸二氢钾表面获得较好的平坦化效果，对后期磷酸二氢钾类晶体的离子束抛光作了良好的铺垫。
📄 2017102650582
📂 C23C14_34
👤 西安工业大学
📅 2017-04-21
本发明公开了一种含铝和硼元素的高熵合金靶材的制备工艺，由以下步骤组成：以铝粉和第一金属粉为配料，在氩气保护下采用机械合金化法，制备得到铝合金粉；将铝合金粉与含硼的第二粉末混合，采用球磨法进行研磨；将研磨后的含铝和硼的合金粉末放置于石墨磨具中，在真空中采用放电等离子烧结法对合金粉末进行烧结；烧结后对石墨磨具冷却脱模得到含铝和硼的合金靶材；该工艺可以准确地控制B元素含量，且各元素成分及含量在较大的范围内便于调控；可以避免硼元素在加工过程中大量挥发；可以避免因铝元素的加入导致烧结温度过低引起靶材结合性差；所得到的合金靶材成型性好，相对密度较高，孔隙率相对较低，晶粒尺寸小，各成分分布均匀。
📄 2018114077524
📂 C23C14_34
👤 西安工业大学
📅 2018-11-23
本发明提供了一种用于高温合金加工的Cr/CrN/NbN/NbXN稀土超晶格涂层及其制备方法，其制备方法，依次包括以下步骤：(1)调节真空度，通入氩气，在前处理后的基体表面沉积Cr过渡层，得Cr过渡层；(2)通入氮气，在Cr过渡层上沉积CrN过渡层，得CrN过渡层；(3)在Ar/N2气氛中交替沉积NbN和NbXN纳米层，沉积后自然冷却至室温，关闭电源和气体源，得用于高温合金加工的Cr/CrN/NbN/NbXN稀土超晶格涂层。本发明还包括上述方法制得的稀土超晶格涂层。本发明提高了涂层的硬度、结合力、高热稳定性、抗腐蚀性能及耐磨性，在保证切削质量的同时提高使用寿命。
📄 2021113702500
📂 C23C14_34
👤 西华大学
📅 2021-11-18
本发明公开了一种DS连轧制备钽靶坯的方法，包括如下步骤：S1、对钽铸锭进行热锻，锻造过程中进行中间退火，形成长方形钽板；S2、对长方形钽板进行DS连轧，形成钽靶坯坯料；S3、对钽靶坯坯料进行板带校平，然后进行真空热处理。本发明制备的钽靶坯在厚度方向上无织构梯度问题，组织分布更加均匀，晶粒取向随机分布，结合热处理工艺，晶粒尺寸均匀并且更加细小，相比于同步轧制晶粒细化30%以上；简化多道工序，并且代替人工旋转靶坯轧制，大幅提高生产效率，适用于大规模批量生产，靶坯直径不受铸锭直径限制，可制备出更大直径的靶坯；溅射性能稳定，大幅提高钽薄膜厚度均匀性，可广泛用于电子器件、半导体行业等镀膜领域。
📄 2023111703692
📂 C23C14_34
👤 燕山大学
📅 2023-09-12
本实用新型提供一种用溅射镀膜设备的夹具，包括：夹合部件、支撑板、支撑架、固定板、固定头、垫板、限位条、夹料槽、底板、底座、固定槽、油压泵一、固定座、紧固座套、固定孔、连接套、液压支杆、连接卡扣、螺栓孔、油压泵二、密封套、下支杆、压块、橡胶垫、滑槽、固定条以及挤压垫，所述夹合部件后端面安装有支撑板，所述夹合部件上端安装有固定头，所述挤压垫上端安装有垫板，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：避免了现有夹具固定效果差的问题，解决了原有装置不具有夹紧松弛等调节功能的问题，提高了本实用新型夹紧的效果。
📄 2021204587443
📂 C23C14_34
👤 苏州万荣精密机械有限公司
📅 2021-03-03
本发明公开了一种可调张力的镀膜机，包括装载支架、顶接板、托载台和泵体，所述装载支架顶部中间处水平设置有顶接板，且所述装载支架两端均竖向设置有侧封板，两个侧封板之间水平嵌设有托载台。本发明的有益效果是：通过溅射机构上的电机五带动电子枪调节移动至靶材正上方，保证电子枪能够快速移动至靶材上方进行轰击工作，并且电子枪对靶材照射轰击时，电机七通过旋摆板带动电子枪左右往复翻转工作，一方面，保证靶材被电子枪轰击处理更完全，再配合电机五在挂台上带动电子枪左右调节活动，保证电子枪对靶材轰击面积覆盖更完全，另一方面，极大的提高了靶材表面组分被轰击逸出的效率以及基板被镀膜的效率。
📄 2019111843422
📂 C23C14_34
👤 安徽顺彤包装材料有限公司
📅 2019-11-27
已申报项目
本发明提供一种导电氧化锆旋转靶材制造装置，涉及旋转靶材制造技术领域。该一种导电氧化锆旋转靶材制造装置，包括支撑盘、防护罩，所述防护罩可拆卸设置在支撑盘的外侧；所述支撑盘包括转动盘，所述转动盘的顶部中心位置固定连接有转轴，所述转动盘的顶部且位于转轴的外侧固定连接有环体，所述支撑盘的顶部且靠近环体的内侧壁固定连接有连接耳板，所述连接耳板的内侧通过销轴活动连接有L型夹紧脚。通过设置有L型夹紧脚结构，当旋转靶材套设在转轴上，底部压动防护台的时候，防护台受压下移，使L型夹紧脚的外侧的一只脚下压，另一只脚向外侧移动，顶在旋转靶材的内侧壁，实现固定的目的，使用非常的方便。
📄 2021108779945
📂 C23C14_34
👤 江苏拓创新材料科技有限公司
📅 2021-08-02
本发明公开一种低成本、高密度ITO靶材的制备方法，包括以下步骤：取分散剂和粘接剂加入水中，搅拌均匀，用氨水调pH值至8～11，得预混液；所述分散剂重量比为1～2：1的柠檬酸和聚丙烯酸胺的混合物；向预混液中加入以化学共沉淀法制备的ITO粉体和烧结剂，再于球磨机中进行球磨，球磨后得到混合浆料，搅拌，抽真空除去浆料中的气泡；所述烧结剂由稀土氧化物、氮化钛和纳米GeO2组成；把铝制模装在石膏板上，将所得浆料注入铝制模中；吸浆成型后脱模干燥，得ITO坯体；干燥后的ITO坯体在常压纯氧气的气氛下烧结，得ITO靶材。与现有技术相比，本方法获得的产品致密度高、成本低、电阻率低及晶粒尺寸分布均匀。
📄 201710405569X
📂 C23C14_34
👤 安徽拓吉泰新型陶瓷科技有限公司
📅 2017-06-01
柿子坊 · 知识产权运营
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