套刻对准标记和套刻误差测量方法

摘     要：本发明实施例公开了一种套刻对准标记和套刻误差测量方法，通过设置在待测晶片的厚度方向上，前层标记图案沿第一方向延伸的第一侧边的至少部分、第二侧边的至少部分和当层标记图案暴露，前层标记图案的第一侧边与当层标记图案之间，以及前层标记图案的第二侧边与当层标记图案之间包括刻蚀区，该刻蚀区内不包括当层的结构，而可以包括前层的结构，因此进行电子束扫描时，当层标记图案和前层标记图案相当于在一个平面内，进而使得电子束扫描得到的SEM图像可以清楚的显示出当层标记图案和前层标记图案的边界，进而可以根据第一侧边与当层标记图案的最小距离以及第二侧边与当层标记图案的最小距离得到准确的套刻误差。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注