发明专利 已授权

具有双沟槽的4H-SiC横向绝缘栅双极型晶体管器件

📄 申请号:CN202210553866.X 📄 发布日:2026/10/13

著录项目信息

申请日
2022-05-20
公开号
CN114927569B
公开日
2024-06-18
申请人
重庆邮电大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

所属领域

应用场景

电力电子, 新能源汽车, 智能电网, 工业控制, 可再生能源发电

摘要

本发明涉及一种具有双沟槽的4H‑SiC横向绝缘栅双极型晶体管器件,属于功率半导体器件技术领域。该器件包括沟槽氧化层、N‑drift区、轻掺杂P‑epi层、重掺杂P+epi层、N型4H‑SiC衬底、P‑base区、N+注入区、P+注入区Ⅰ、P+注入区Ⅱ、N‑buffer区、金属衬底电极、金属集电极、金属发射极、栅极氧化层和多晶硅沟槽栅。本发明基于高可靠性的N型4H‑SiC衬底,深入漂移区的氧化层沟槽在器件正向阻断时辅助耗尽漂移区、同时减小了发射极和集电极之间的寄生电容;延伸到P‑epi层的沟槽栅结构提高了器件的栅氧可靠性,并且与其他器件隔离,简化了制造工艺。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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