发明专利 已授权

一种异质结注入的沟槽型GaN绝缘栅双极型晶体管

📄 申请号:CN202110914932.7 📄 发布日:2026/06/04

著录项目信息

申请日
2021-08-10
公开号
CN113611738A
公开日
2021-11-05
申请人
重庆邮电大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

电力电子, 功率变换, 新能源汽车, 工业控制, 智能电网

摘要

本发明涉及一种异质结注入的沟槽型GaN绝缘栅双极型晶体管,属于功率半导体器件领域。该晶体管呈左右对称结构,左半边结构包括P+集电极、N‑漂移区、P‑沟道区、N+发射极衬底、绝缘介质层、栅极金属接触区、集电极金属接触区、发射极金属接触区Ⅰ、发射极金属接触区Ⅱ和Al组分渐变区。本发明基于N+型GaN衬底材料上,采用从上至下为P/N/P/N的沟槽型IGBT垂直器件结构,通过较低掺杂的P+AlGaN集电极层就可以实现P+AlGaN/GaN较高的空穴注入比,同时,还在P+AlGaN/GaN异质结界面处引入x渐变的AlxGa1‑xN渐变层,以减少器件导通压降,提高器件输出电流。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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