发明专利已授权

一种磁控溅射反应设备换样片装置

📄 申请号：CN201910531719.0 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2019-06-19

公开号

CN110129757A

公开日

2019-08-16

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_35

IPC 分类号

C23C14_35

技术画像

所属领域

磁控溅射设备磁控溅射设备真空镀膜设备自动换样装置

应用场景

半导体制造, 薄膜材料制备, 材料表面处理, 科研实验

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摘要

本发明公开了一种磁控溅射反应设备换样片装置，包括取样长杆，所述装置还包括圆筒、样片基座及设于取样长杆前部的长杆端部，所述长杆端部包括长杆端头、电磁铁、伸缩机构及微动开关，所述电磁铁、伸缩机构及微动开关设于圆筒内，所述电磁铁设于长杆端头的后方，所述电磁铁后方装设有伸缩机构，所述伸缩机构的尾端伸缩接触微动开关，所述样片基座包括设有凹陷口的尾端，所述长杆端头在尾端的凹陷口进出。本发明运用磁铁吸力实现取样，并使用弹簧和微动开关实现长杆自动脱出，在缩短搬运的时间，且要避免样片在搬运过程中受到损伤，以提高生产效率和成品率，并有利于提高整台设备的密封性，保证了工艺环境的洁净度。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种基于认知行为疗法的个人计划管理APP终端交互系统

当前第 / 件

一种骨磨削装置

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议价

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：21 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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