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本发明公开了一种磁控溅射反应设备换样片装置，包括取样长杆，所述装置还包括圆筒、样片基座及设于取样长杆前部的长杆端部，所述长杆端部包括长杆端头、电磁铁、伸缩机构及微动开关，所述电磁铁、伸缩机构及微动开关设于圆筒内，所述电磁铁设于长杆端头的后方，所述电磁铁后方装设有伸缩机构，所述伸缩机构的尾端伸缩接触微动开关，所述样片基座包括设有凹陷口的尾端，所述长杆端头在尾端的凹陷口进出。本发明运用磁铁吸力实现取样，并使用弹簧和微动开关实现长杆自动脱出，在缩短搬运的时间，且要避免样片在搬运过程中受到损伤，以提高生产效率和成品率，并有利于提高整台设备的密封性，保证了工艺环境的洁净度。

本实用新型公开了一种密度可调整的磁控镀膜溅射靶材工装，包括底座，所述底座上端的左侧固定安装有传送室，所述传送室的右端活动安装有传送门，所述传送门的右端固定安装有锻造室，所述锻造室的右端固定安装有控制系统，所述锻造室的上端固定安装有液压缸，所述液压缸的下端位于锻造室的内部固定安装有限位板，所述限位板的下端固定安装有上压模，所述上压模的下方固定安装有下压模。该密度可调整的磁控镀膜溅射靶材工装，利用驱动电机对原材料进行传送的同时可以自动打开传送门，自动化程度较高，操作简便，节省了人力成本，通过安装加热元件以及温度传感器，可以控制原材料预加热以及锻造时的温度，以得到预期密度的靶材。

本实用新型公开了一种用于磁控溅射设备的旋转样品台，包括柜体和展示轮，柜体上表面的两侧均开设有安装槽，安装槽的内部转动连接有展示轮，展示轮的中心处固定连接有转轴，转轴的中部套接有传动带，传动带的底部套接有传动电机，柜体的两端均设置有滑杆和阻尼杆，滑杆远离柜体的一端滑动连接有定位螺栓，定位螺栓的表面螺纹连接有显示屏本体，显示屏本体两侧的下端均固定连接有连接块。本实用新型通过传动电机、传动带、转轴和展示轮的设置，当成品制作完成后，人员可将覆在不同产品上的成品均放在展示轮上，在展示的过程中，通过传动电机带动传动带、转轴和展示轮旋转，在旋转时能够有效的将多种样品展示出来供人员观看。

本实用新型公开了一种磁控溅射设备的换样片装置，包括设备主体，设备主体的内侧壁固定连接第一伸缩杆，移动板的一侧固定连接有压力板，设备主体的正面活动连接有拉门，支架的一端固定连接有放置架，放置架的一侧活动连接有样片主体，样片主体的一侧活动连接有卡板，卡板的一侧固定连接有第一弹簧，第一弹簧的一侧固定连接有第一固定板，第一固定杆的一侧活动连接有第二固定杆，第二固定杆的内部活动连接有限位杆，限位杆的一侧固定连接有第二弹簧。本实用新型通过第二弹簧的设置，能够使工人能够对设备的样片进行更换，使工人工作更加轻松便捷，通过第一弹簧的设置，能够使提高设备固定的牢固性，防止出现样片滑落的情况。