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发明专利
已授权
一种全光谱光电双通道器件及其制备方法和应用
📄 申请号:CN202011556829.1
📄 发布日:2026/05/18
著录项目信息
申请日
2020-12-25
公开号
CN112599646B
公开日
2022-12-16
申请人
惠州学院
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
H01L33_00
IPC 分类号
H01L33_00
,
H01L33_32
,
H01L33_42
,
H01L31_0224
,
H01L31_0304
,
H01L31_18
,
G01N21_27
,
技术画像
所属领域
光电器件
光电器件
光电探测
光谱响应
应用场景
光通信, 光谱分析, 成像传感, 环境监测, 军事侦察
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摘要
本发明属于半导体技术领域。一种全光谱光电双通道器件的制备方法,包括以下步骤:在衬底表面生长AlN薄膜;在AlN薄膜表面蒸镀获得图形化顶电极或阴阳电极;在AlN薄膜和顶电极表面转移一层石墨烯/PMMA复合电极,或在AlN薄膜和阴阳电极表面各转移一层石墨烯/PMMA复合电极,阴阳电极表面的石墨烯/PMMA复合电极间隔设置;将顶电极或阴阳电极表面的PMMA蚀刻去除,即得光电双通道器件。本发明制备方法简单高效,制备而成的双通道器件可同时实现发光特性和光探测特性,器件性能好,光发射范围广,可覆盖紫外到红外波段。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种基于动作分析的信息关联方法、装置及电子设备
当前第 / 件
一种静电纺丝机供液回液系统
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