本发明公开一种具有强极化空穴注入层的氮化物半导体发光二极管,依次包括衬底、第一导电型半导体,量子阱,V-pits,和第二导电型半导体,在V-pits侧壁上生长强极化空穴注入层,在强极化空穴注入层之间生长V-pits填充层,所述的强极化空穴注入层为BxAl1-xN/SczIn1-zN、BxInyGa1-x-yN/SczAlkGa1-z-kN、BxSczGa1-x-zN/InyAlkGa1-y-kN、BxAlkGa1-x-kN/SczInyGa1-y-zN超晶格的任意一个或任意组合,所述V-pits侧壁强极化空穴注入层形成强极化系数m,其中m≥3.0 cm-2,形成V-pits侧壁高空穴浓度,并提升空穴的能量,使空穴可跃过V-pits侧壁的势垒,从而提升V-pits侧壁的空穴注入效率,提升氮化物发光二极管的发光效率。
📄 2018103791239
📂 H01L33_24
👤 黎明职业大学
📅 2018-04-25