实用新型已授权

一种有效提高薄膜密度的卷对卷电子束镀膜设备

Name: 一种有效提高薄膜密度的卷对卷电子束镀膜设备
Brand: 浙江弘康半导体技术股份有限公司
SKU: 2022204113013
Availability: InStock

📄 申请号：CN202220411301.3 📄 发布日：2026/04/03

著录项目信息

申请日

2022-02-28

公开号

CN216808955U

公开日

2022-06-24

申请人

浙江弘康半导体技术股份有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C23C14_56

IPC 分类号

C23C14_56 , C23C14_30 ,

技术画像

所属领域

真空镀膜设备真空镀膜设备电子束镀膜卷对卷镀膜工艺

应用场景

光学薄膜制造, 柔性电子, 功能涂层, 太阳能电池, 薄膜电容器

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摘要

本实用新型公开了一种有效提高薄膜密度的卷对卷电子束镀膜设备,包括位于上方的卷绕室、下方的镀膜室。镀膜室与卷绕室通过镀膜主辊旁边的缝隙相连，所述卷绕室内设有卷绕系统、在线膜厚测试仪、等离子预处理系统，所述卷绕室顶部连有抽真空系统，所述镀膜室内设有电子枪系统、等离子体辅助系统、等离子监测系统、晶振仪、蒸发坩埚、偏转磁场系统。本实用新型能够有效克服成膜粒子在基底上迁移能力差所引起的致密度差的问题，具有蒸发速度快，成膜质量高的特点，还能有效地解决由于电子束的高能量改变沉积薄膜的化学计量比导致的阻隔性能的变差的缺点，利用反应性气体将金属元素转化为化学计量比稳定的高阻隔氧化物层，有效提高薄膜密度。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN216808955U

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种降低水汽透过率的阻隔膜

当前第 / 件

一种可控的真空镀铝机中均匀通入氧气的装置

同领域国内专利 · IPC: (C23C14_56)

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：131 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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