实用新型 已授权

真空镀膜机的抽气机构

📄 申请号:CN202323631175.6 📄 发布日:2026/09/29

著录项目信息

申请日
2023-12-28
公开号
CN221522772U
公开日
2024-08-13
申请人
青州市邦朋真空科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

真空镀膜, 半导体制造, 光学镀膜, 表面处理, 消费电子

摘要

本实用新型适用真空镀膜机技术领域,提供了一种真空镀膜机的抽气机构,包括:管体和滑柱,所述滑柱滑动连接所述管体,所述管体内部设有第一挡板和第二挡板,所述滑柱滑动连接所述第一挡板,所述滑柱对应所述第一挡板设有间隔布置的球形凸起,两个球形凸起的间距大于所述第一挡板的厚度,所述滑柱滑动连接所述第二挡板,所述第二挡板上设有若干通气部,所述通气部用于单向连通所述第二挡板的两侧空间。借此,本实用新型利用二个挡板,增加了一个真空缓冲腔,实现二次密封,使得真空密封效果更好,同时通风部的动作更迅速,可以实现快速密封,进一步降低了真空泄漏的风险。

常见问题

这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN221522772U

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该专利的转让价格是多少?

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:4 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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