实用新型已授权

一种可控的真空镀铝机中均匀通入氧气的装置

📄 申请号：CN202220411723.0 📄 发布日：2026/04/03

著录项目信息

申请日

2022-02-28

公开号

CN216972652U

公开日

2022-07-15

申请人

浙江弘康半导体技术股份有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C23C14_08

IPC 分类号

C23C14_08 , C23C14_24 ,

技术画像

所属领域

真空镀膜技术真空镀膜技术气体分布控制薄膜制备设备

应用场景

包装材料镀铝, 电子器件薄膜制备, 装饰性镀膜, 功能薄膜生产

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摘要

本实用新型公开了一种可控的真空镀铝机中均匀通入氧气的装置，通过氧气瓶提供氧气，包括转接头、内管、外管，其中转接头的一侧连接有储气管，储气管分别通过轴承连接外管和内管，外管包绕于内管外，所述外管和内管的另一端通过轴承连接有轴一和轴二，并由轴一和轴二单独带动驱动，所述转接头与内管之间通过转动以控制氧气的流量大小。本方案通过气泵输出的恒定气压，经转接头进入储气管传而导至内管内，氧气通过内管放气孔进入外管，再通过外管的放气孔进入镀膜区域，同时内管与外管均可通过驱动转动，内管与外管放气孔的转动配合以及针阀来调节通入氧气的流量，并通过外管的旋转来调整氧气通入的位置与角度，以此来调节通入氧气分布的均匀性。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种有效提高薄膜密度的卷对卷电子束镀膜设备

当前第 / 件

一种稳定高效的电子束真空镀膜设备

同领域国内专利 · IPC: (C23C14_08)

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