实用新型 已授权

一种新型真空镀膜工艺室

📄 申请号:CN202222212008.7 📄 发布日:2026/09/29

著录项目信息

申请日
2022-08-23
公开号
CN220079175U
公开日
2023-11-24
申请人
青州市邦朋真空科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

半导体制造, 光学镀膜, 显示面板, 太阳能电池, 工具镀膜

摘要

本实用新型公开了一种新型真空镀膜工艺室,包括镀箱,所述镀箱顶端安装有电机a,所述电机a的输出端固定连接有转轴a,所述转轴a固定连接有顶架,所述顶架转动连接有镀杆b,所述镀杆b位于镀杆a的外侧,所述顶架通过连接杆固定连接有底架,所述底架转动连接有固定座,所述镀箱铰接有箱门,所述箱门表面安装有气泵a,所述气泵a的出气口延伸到气囊管a的内部,所述气囊管a安装在箱门的表面,所述镀箱安装有气囊管b;电机a和电机b可带动顶架旋转的同时镀杆也旋转,可使镀件镀匀;气囊管a和气囊管b配合可提高镀箱密封效果。

常见问题

这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN220079175U

购买这项专利需要经过哪些流程?

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该专利的转让价格是多少?

当前标价为议价,可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:8 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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🏢 淄博智来知识产权服务有限公司
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