实用新型已授权

一种紧凑型半导体蒸发台

📄 申请号：CN202221554209.9 📄 发布日：2026/06/05

著录项目信息

申请日

2022-06-21

公开号

CN217536136U

公开日

2022-10-04

申请人

德兴市意发功率半导体有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C23C14_30

IPC 分类号

C23C14_30 , C23C14_16 , C23C14_56 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备真空镀膜设备薄膜沉积技术

应用场景

半导体芯片制造, 集成电路制造, 光电子器件制造, MEMS微纳制造, 科研实验

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摘要

本实用新型公开了一种紧凑型半导体蒸发台，其包括：蒸发台壳体、坩埚、链板、链板收放卷架和钢丝绳收放卷架，所述坩埚设置在蒸发台壳体中，所述链板收放卷架和钢丝绳收放卷架设置在坩埚的两侧，所述链板收放卷架上设置有链板收放卷滚筒，所述链板缠绕设置在链板收放卷滚筒上，所述钢丝绳收放卷架上设置有钢丝绳收放卷滚筒，所述链板前端两侧分别设置有缠绕设置在钢丝绳收放卷滚筒上的钢丝绳。本实用新型所述的紧凑型半导体蒸发台，通过钢丝绳对链板进行牵引，使得链板可以覆盖在坩埚的开口上，进行杂质的收集，操作简便，而且链板收卷后的体积小，结构紧凑。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种晶片节能干燥装置

当前第 / 件

一种硅晶片翻转搬运工装

同领域国内专利 · IPC: (C23C14_30)

C23C14_00 C23C14_02 C23C14_04 C23C14_06 C23C14_08 C23C14_14 C23C14_16 C23C14_18 C23C14_20 C23C14_22 C23C14_24 C23C14_26 C23C14_28 C23C14_30 C23C14_32 C23C14_34 C23C14_35 C23C14_46 C23C14_48 C23C14_50 C23C14_52 C23C14_54 C23C14_56 C23C14_58 覆盖24个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：47 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 已报项目

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