实用新型已授权

一种半导体高效蒸发台

📄 申请号：CN202220772445.1 📄 发布日：2026/06/05

著录项目信息

申请日

2022-04-06

公开号

CN217265984U

公开日

2022-08-23

申请人

德兴市意发功率半导体有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C23C14_30

IPC 分类号

C23C14_30 , B08B1_02 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备真空蒸发薄膜沉积

应用场景

集成电路制造, 半导体芯片加工, 光学镀膜, LED芯片制造, 显示面板制造

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本实用新型公开了一种半导体高效蒸发台，其包括：蒸发台基体、第一固定板、第二固定板、立柱、挡板、挡板驱动装置和刮板，所述立柱设置在蒸发台基体中并对称分布在坩埚的前方或者后方，所述第一固定板分别设置在立柱上，所述第一固定板底部分别设置有沿蒸发台基体的宽度方向水平延伸的滑轨，所述挡板连接在两侧的滑块之间并位于坩埚开口上方，所述刮板设置在两侧的第二固定板之间，所述刮板顶部设置有与挡板底面接触的刀刃。本实用新型所述的半导体高效蒸发台，挡板在坩埚加热初期进行覆盖，接收杂质，并在后退的过程中通过刮板实现挡板底面杂质的清理，减少了人工维护的耗时问题，提升了生产效率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种氧化炉均匀喷淋装置

当前第 / 件

一种便于维护的真空高效加热装置

同领域国内专利 · IPC: (C23C14_30)

C23C14_00 C23C14_02 C23C14_04 C23C14_06 C23C14_08 C23C14_14 C23C14_16 C23C14_18 C23C14_20 C23C14_22 C23C14_24 C23C14_26 C23C14_28 C23C14_30 C23C14_32 C23C14_34 C23C14_35 C23C14_46 C23C14_48 C23C14_50 C23C14_52 C23C14_54 C23C14_56 C23C14_58 覆盖24个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：44 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 已报项目

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)

一种半导体高效蒸发台

著录项目信息

技术画像

所属领域

应用场景

摘要

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (C23C14_30)

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

一种用于微带探针的光纤端面耦合器的制作方法

一种压力可调式干燥机

一种真空状态水气分离及排水装置

服务项目

资源中心

关于柿子坊