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24小时咨询热线摘 要：本发明公开了一种便于维护保养的磁控溅射制备ITO薄膜的系统，包括：依次相连的预热腔、沉积腔、冷却腔、成品腔和真空泵以及控制面板。所述沉积腔的两侧壁上设置有ITO靶材和磁体，所述沉积腔的上部的开口上设置有顶盖，所述顶盖的下方活动连接有具有夹层的中空的输气板，所述输气板的下表面均匀开设有多个通孔，以使反应气体由所述夹层通入沉积腔，所述沉积腔的下表面上均匀设置有若干支柱，所述支柱可上下运动；所述成品腔内设置有多个格栅，以将所述成品腔均匀分隔为多个隔室。其采用流水线式的制备系统，使得成膜效率大大提高，且成膜均匀质量高。同时所述系统方便系统的清洁和维护，减轻了维护保养的工作量，提高了工作效率。
著 录 项：
| 专利/申请号： | CN201710288617.1 | 专利名称： | 便于维护保养的磁控溅射制备ITO薄膜的系统 |
| 申请日： | 2017-04-27 | 申请/专利权人 | 柳州豪祥特科技有限公司 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 广西壮族自治区柳州市柳东新区官塘创业园研发中心2号楼511号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | C23C14/35搜分类 塑料 维护 IT 保养 磁控搜索 |
| 公开/公告日： | 2019-08-02 | 转让价格： | 面议 |
| 公开/公告号： | CN107043916B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2019/08/02 | 授权 | |
| 2017/09/08 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): C23C 14/35 专利申请号: 201710288617.1 申请日: 2017.04.27 |
| 2017/08/15 | 公开 |
