咨询电话:13280638997
传真:0533-3110363
邮箱:kefu@shizifang.com
摘 要:本申请的实施例公开了晶圆级芯片的封装方法及封装体,涉及半导体技术领域。所述方法包括:将晶圆片与支撑载体贴合;减小所述晶圆片的厚度;在所述晶圆片的背面蚀刻划片槽;在所述晶圆片的背面以及所述划片槽内粘附绝缘层;在所述绝缘层以及所述划片槽的底部添加金属层;去除所述划片槽的底部的所述金属层;在剩余的所述金属层上以及所述划片槽的底部粘附保护层;对所述保护层进行加工得到粘附孔,所述粘附孔的底部为外露的所述金属层;在所述粘附孔的底部的所述金属层上粘附锡球。本申请的实施例能够获得相对较薄的晶圆级芯片的封装体,增加了其机械结构强度,平衡了封装体积和封装强度的要求。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201780000046.5 | 专利名称: | 晶圆级芯片的封装方法及封装体 |
申请日: | 2017-01-22 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 地址: | ||
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/56搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |