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| 专利/申请号： | CN202121229382.7 | 专利名称： | 一种石英晶圆退火用组装式碳化硅舟 |
| 申请日： | 2021-06-02 | 申请/专利权人 | 无锡市芯飞通光电科技有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 江苏省无锡市新吴区清源路20号立业楼C505 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | H01L21/673 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2021-12-24 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN215299204U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 24 | 所属领域： | 半导体专利转让搜索 |
摘 要：本实用新型公开了一种石英晶圆退火用组装式碳化硅舟，包括底板和第一连接板，第一连接板，其固定于所述底板一侧外壁；第二连接板，其贴合与所述第一连接板外壁；装配槽，其开设于所述第一连接板和第二连接板外壁；第一固定螺栓，其贯穿于所述装配槽内部；连接件，其固定于所述底板另一侧外壁。该石英晶圆退火用组装式碳化硅舟，设置的底板相互间可通过第一连接板和第二连接板进行间距调节，调节完毕可通过第一固定螺栓配合连接板外壁的装配槽进行收紧固定，其间距大小可根据不同尺寸的晶圆进行相应的调整，以提高碳化硅舟的适配性，且后续可通过拆卸第一固定螺栓来对碳化硅舟部件进行收纳，组装式结构相比一体式成型成本得到有效降低。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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