发明专利已授权

一种电子束辅助碳基超润滑固体薄膜制备装置及方法

Name: 一种电子束辅助碳基超润滑固体薄膜制备装置及方法
Brand: 安徽工业大学
SKU: 2020114201181
Availability: InStock

📄 申请号：CN202011420118.1 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2020-12-04

公开号

CN112680700B

公开日

2022-07-26

申请人

安徽工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_30

IPC 分类号

C23C14_30 , C23C14_54 , C23C14_06 ,

技术画像

所属领域

薄膜制备碳基薄膜材料真空镀膜技术固体润滑材料薄膜制备

应用场景

航空航天器件润滑, 汽车零部件减摩, 精密机械润滑, 工模具耐磨涂层, 滑动部件表面处理

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本发明公开一种电子束辅助碳基超润滑固体薄膜制备装置及方法，包括镀膜腔室、PVD靶材、样品台、待镀膜工件和电子束辅助沉积组件，所述待镀膜工件设置在所述样品台上，所述PVD靶材、所述样品台均设置于所述镀膜腔室内，所述PVD靶材和所述待镀膜工件对应设置，所述电子束辅助沉积组件提供的可控电子束设置在所述PVD靶材和所述待镀膜工件之间；本发明在镀膜工件表面附近添加一个辅助电子束源，用于控制镀膜样件表面的电子浓度和离子浓度，从而有效的抑制或控制不导电的碳基薄膜表面的电荷积累，获得微观结构与成分可控、性能显著提升的碳基超润滑固体薄膜。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN112680700B

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种催化氧化处理污水过程中粉末催化剂高效分离并自动循环的装置

当前第 / 件

一种高铼酸铵溶液深度净化除铅的方法

同领域国内专利 · IPC: (C23C14_30)

C23C14_00 C23C14_02 C23C14_04 C23C14_06 C23C14_08 C23C14_14 C23C14_16 C23C14_18 C23C14_20 C23C14_22 C23C14_24 C23C14_26 C23C14_28 C23C14_30 C23C14_32 C23C14_34 C23C14_35 C23C14_46 C23C14_48 C23C14_50 C23C14_52 C23C14_54 C23C14_56 C23C14_58 覆盖24个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：44 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 2657件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)

一种电子束辅助碳基超润滑固体薄膜制备装置及方法

著录项目信息

技术画像

所属领域

应用场景

摘要

常见问题

这项专利是否已经下证？

购买这项专利需要经过哪些流程？

该专利的转让价格是多少？

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (C23C14_30)

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

真空镀膜机的抽气机构

稳定便捷型真空镀膜机的蒸发舟

一种新型真空镀膜工艺室

服务项目

资源中心

关于柿子坊