一种电子束辅助碳基超润滑固体薄膜制备装置及方法

著 录 项 目：

摘     要：本发明公开一种电子束辅助碳基超润滑固体薄膜制备装置及方法，包括镀膜腔室、PVD靶材、样品台、待镀膜工件和电子束辅助沉积组件，所述待镀膜工件设置在所述样品台上，所述PVD靶材、所述样品台均设置于所述镀膜腔室内，所述PVD靶材和所述待镀膜工件对应设置，所述电子束辅助沉积组件提供的可控电子束设置在所述PVD靶材和所述待镀膜工件之间；本发明在镀膜工件表面附近添加一个辅助电子束源，用于控制镀膜样件表面的电子浓度和离子浓度，从而有效的抑制或控制不导电的碳基薄膜表面的电荷积累，获得微观结构与成分可控、性能显著提升的碳基超润滑固体薄膜。

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注

• 申请号	专利名称	发布日期
  2017101767137	【发明】一种石墨烯/氧化物复合光学薄膜的制备方法	2025/10/15
  2022115078535	【发明】一种纯镁表面的多层致密复合膜及其制备方法	2025/10/15
  2022101428069	【发明】一种旋转式中间预热磁控溅射靶装置	2025/10/11
  202111499911X	【发明】一种高分子材料表面增亮耐磨镀膜工艺及其制得的光学镀膜	2025/10/11
  2021102006464	【发明】一种微波介质陶瓷表面镀银的PVD工艺	2025/10/11
  2020108191892	【发明】一种用于氢燃料电池金属双极板的超低电阻耐腐蚀涂层的制备工艺	2025/10/11
  2019111330099	【发明】一种3C铝制件表面处理的PVD真空镀膜工艺	2025/10/11
  202210891402X	【发明】一种超硬膜层制造方法	2025/10/11
  2017105328247	【发明】SiZrCN梯度复合涂层刀具及其制备方法	2025/09/29
  2017105328213	【发明】AlNbCN多元梯度复合涂层刀具及其制备方法	2025/09/29