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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN201811230289.0 | 专利名称: | 氧化镍/氧化钛/氧化镍多层异质结忆阻器的制备方法 |
申请日: | 2018-10-22 | 申请/专利权人 | 西安理工大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 陕西省西安市金花南路5号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号: | H01L45/00 分类检索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 【平台担保交易】 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 | |
浏览量: | 37 | 所属领域: | 微电子材料 存储器 忆阻器薄膜 电子传输 半导体材料 记忆电阻器专利转让搜索 |
摘 要:本发明公开了一种氧化镍/氧化钛/氧化镍多层异质结忆阻器的制备方法,具体包括如下步骤:步骤1,制备氧化镍凝胶薄膜;步骤2,在步骤1制备的氧化镍凝胶薄膜上制备氧化钛凝胶膜,得氧化钛/氧化镍基片;步骤3,在步骤2所得氧化钛/氧化镍基片上陈化氧化镍凝胶薄膜,得氧化镍/氧化钛/氧化镍多层异质结薄膜;步骤4,使用溅射仪对步骤3所得的氧化镍/氧化钛/氧化镍多层异质结薄膜进行顶电极制备,即得。使用本发明的制备方法可以在ITO底电极上一次性制得氧化镍/氧化钛/氧化镍多层异质结薄膜,制备成本低、工艺简单、容易控制,提高了氧化镍/氧化钛/氧化镍多层异质结的制备效率。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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