一种质量厚度为600-1200μg/cm2自支撑铟薄膜及其制备方法

摘     要：本发明公开了一种大尺度自支撑铟薄膜及其制备方法，包括以下步骤：（1）在衬底表面沉积氯化钠脱模剂；（2）采用90度磁过滤阴极真空弧(FCVA)系统在衬底表面沉积氧化锌缓冲薄膜；（3）将样品旋转180°，采用直管磁过滤阴极真空弧(FCVA)系统再次沉积铟薄膜；（4）将得到的衬底放入盛有乙醇溶液的容器中进行脱模处理；（5）用打捞板将铟薄膜捞起，得到质量厚度为600‑1200μg/cm2自支撑铟薄膜。采用本发明可以制备出质量厚度为600‑1200μg/cm2、具有低应力、均匀且致密的自支撑铟薄膜，且工艺简单。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2020/06/26	专利权的转移	登记生效日: 2020.06.08 专利权人由广州本康环保科技有限公司变更为固镇科安创蚌信息科技有限公司 地址由510530 广东省广州市高新技术产业开发区科学大道72号C2栋首层、二层、三层绿地国际创客中心办公卡位A176变更为233700 安徽省蚌埠市固镇县城关镇翠湖花园北门牛市西巷9号
  2020/04/24	授权
  2019/01/29	实质审查的生效	IPC(主分类): C23C 14/02 专利申请号: 201810933398.2 申请日: 2018.08.16