发明专利已授权

一种质量厚度为600-1200μg/cm2自支撑铟薄膜及其制备方法

📄 申请号：CN201810933398.2 📄 发布日：2026/05/29

著录项目信息

申请日

2018-08-16

公开号

CN109136832A

公开日

2019-01-04

申请人

蚌埠企弧知识产权服务有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_02

IPC 分类号

C23C14_02 , C23C14_32 , C23C14_14 ,

技术画像

所属领域

金属薄膜材料金属薄膜材料薄膜制备技术真空镀膜工艺

应用场景

X射线滤光片, 空间天文观测, 红外光学系统, 粒子物理实验靶材, 精密光学仪器

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摘要

本发明公开了一种大尺度自支撑铟薄膜及其制备方法，包括以下步骤：（1）在衬底表面沉积氯化钠脱模剂；（2）采用90度磁过滤阴极真空弧(FCVA)系统在衬底表面沉积氧化锌缓冲薄膜；（3）将样品旋转180°，采用直管磁过滤阴极真空弧(FCVA)系统再次沉积铟薄膜；（4）将得到的衬底放入盛有乙醇溶液的容器中进行脱模处理；（5）用打捞板将铟薄膜捞起，得到质量厚度为600‑1200μg/cm2自支撑铟薄膜。采用本发明可以制备出质量厚度为600‑1200μg/cm2、具有低应力、均匀且致密的自支撑铟薄膜，且工艺简单。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20241220

⏳ 开放许可声明：

20240112

?? 专利权的转移：

20200626

?? 专利权的转移：

20200424

✅ 授权

20190129

?? 实质审查的生效：

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：54 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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