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一种施加预应力促进银合金薄膜表面析出银颗粒的方法，将银合金薄膜以膜面朝上的方式两端固定，中部用向上凸起的凸模顶起，从而对银合金薄膜施加预应力，然后在真空炉内或气氛保护炉内加热退火，以增大残余压应力，促进薄膜原子扩散，从而增加银合金薄膜表面形成的银颗粒数量。本发明通过对柔性基体上银合金薄膜施加预应力并进行退火处理调控银合金薄膜的原子扩散行为，促进银颗粒形成的方法，为获得大比表面积柔性聚酰亚胺基体银合金颗粒薄膜器件提供了技术支撑。施加预应力的大小可以根据需要通过调整模具进行调控，能有效促进退火过程中银合金薄膜表面银颗粒的形成，获得具有大比表面积的柔性基体银合金颗粒复合膜。

本发明公开了一种大尺度自支撑铟薄膜及其制备方法，包括以下步骤：（1）在衬底表面沉积氯化钠脱模剂；（2）采用90度磁过滤阴极真空弧(FCVA)系统在衬底表面沉积氧化锌缓冲薄膜；（3）将样品旋转180°，采用直管磁过滤阴极真空弧(FCVA)系统再次沉积铟薄膜；（4）将得到的衬底放入盛有乙醇溶液的容器中进行脱模处理；（5）用打捞板将铟薄膜捞起，得到质量厚度为600‑1200μg/cm2自支撑铟薄膜。采用本发明可以制备出质量厚度为600‑1200μg/cm2、具有低应力、均匀且致密的自支撑铟薄膜，且工艺简单。