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高功率脉冲磁控溅射CrAlSiN纳米复合涂层及其制备方法（需要二次变更）

Name: 高功率脉冲磁控溅射CrAlSiN纳米复合涂层及其制备方法（需要二次变更）
Brand: 天津职业技术师范大学
SKU: 2017105185173
Price: 11000.0 CNY
Availability: InStock

📄 申请号：CN201710518517.3 📄 发布日：2026/09/24

著录项目信息

申请日

2017-06-30

公开号

CN107130222A

公开日

2017-09-05

申请人

天津职业技术师范大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_35

IPC 分类号

C23C14_35 , C23C14_06 , C23C14_02 ,

技术画像

所属领域

纳米复合涂层纳米复合涂层磁控溅射镀膜表面硬质涂层

应用场景

刀具涂层, 模具涂层, 机械零部件耐磨防护, 高温防护, 工模具表面强化

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摘要

本发明涉及一种纳米复合涂层及其制备技术，具体地说是一种CrAlSiN纳米复合涂层的制备工艺。采用高功率脉冲与直流脉冲共溅射技术在金属或硬质合金基体上制备CrAlSiN纳米复合涂层。选用纯金属Cr、Al和Si（纯度均为99.99 wt.%）作为靶材，其中，高功率脉冲选用Cr靶，直流脉冲溅射选用Al靶和Si靶。镀膜前先通入Ar气，采用‑800 V偏压，对基片进行辉光清洗10~30 min。随后开启三个靶材，对基体和靶材表面进行轰击清洗，并逐渐降低偏压至‑30~100V。关闭Al靶和Si靶，沉积纯Cr过渡层10~40min。通入反应气体N2，并开启Al靶和Si靶，沉积CrAlSiN涂层120~360 min。本发明涉及的CrAlSiN纳米复合涂层综合性能好，制备工艺简单，成分可控，重复性好，容易工业化生产。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN107130222A

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该专利的转让价格是多少？

当前标价为 11000.0 元，不含过户费。支持议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种高硬度AlCrN纳米复合涂层及其制备工艺（需要二次变更）

当前第 / 件

一种Al含量呈梯度变化的CrAlSiN纳米复合涂层及其制备方法（需要二次变更）

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¥11000.0 元

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