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一种高硬度AlCrN纳米复合涂层及其制备工艺（需要二次变更）

Name: 一种高硬度AlCrN纳米复合涂层及其制备工艺（需要二次变更）
Brand: 天津职业技术师范大学
SKU: 2017101555006
Price: 10500.0 CNY
Availability: InStock

📄 申请号：CN201710155500.6 📄 发布日：2026/09/24

著录项目信息

申请日

2017-03-16

公开号

CN106893986B

公开日

2019-03-15

申请人

天津职业技术师范大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_34

IPC 分类号

C23C14_34 , C23C14_02 , C23C14_06 , C23C14_16 ,

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所属领域

其他分类其他

应用场景

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摘要

本发明涉及一种纳米复合涂层及其制备技术，具体地说是一种具有高Al含量的AlCrN纳米复合涂层的制备工艺。采用电弧离子镀技术在金属或硬质合金基体上制备AlCrN纳米复合涂层。选用纯金属Al和Cr作为靶材，通过控制Al靶和Cr靶的电流，调控涂层中Al和Cr元素的含量。纯Cr靶和Al靶各4个，相间地均匀分布在炉体内壁上。镀膜前先通入Ar气，采用‑600~1000 V偏压，对基片进行辉光清洗10~20 min，随后开启Cr靶，对基体进行轰击清洗，并逐渐降低偏压至‑30~100V，沉积金属Cr层。最后再通入N2，开启Al靶，沉积AlCrN涂层。本发明涉及的AlCrN纳米复合涂层制备工艺简单，容易工业化生产；制备出的AlCrN涂层具有很高的硬度和强度，良好的耐高温氧化性能和耐蚀性能。

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

高功率脉冲磁控溅射CrAlSiN纳米复合涂层及其制备方法（需要二次变更）

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