发明专利 已授权

一种Al含量呈梯度变化的CrAlSiN纳米复合涂层及其制备方法(需要二次变更)

📄 申请号:CN201711108446.6 📄 发布日:2026/09/24

著录项目信息

申请日
2017-11-09
公开号
CN107858647A
公开日
2018-03-30
申请人
天津职业技术师范大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

切削刀具, 模具表面强化, 耐磨机械部件, 高温防护涂层, 精密加工

摘要

本发明涉及涂层制备领域,具体地说是一种Al含量呈梯度变化的CrAlSiN纳米复合涂层及其制备方法。采用高功率脉冲与直流脉冲共溅射技术在金属或硬质合金基体上制备CrAlSiN纳米梯度涂层。选用纯金属Cr、Al和Si作为靶材,高功率脉冲选用Cr靶,直流脉冲溅射选用Al靶和Si靶。镀膜前先通入Ar气,采用-800V偏压,对基片进行辉光清洗10~30min。随后开启三个靶材,对基体和靶材表面进行轰击清洗。关闭Al靶和Si靶,沉积纯Cr过渡层10~40min。开启Al靶和Si靶,沉积CrAlSiN纳米复合涂层120~480min。沉积过程中Cr靶和Si靶功率保持不变,Al靶功率从0.4kW线性增加至0.8~2kW。本发明涉及的CrAlSiN纳米梯度涂层综合性能好,具有较高的硬度,较小的残余内应力。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图2
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法律状态时间线

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