实用新型已授权

一种低成本往复式磁控溅射镀膜生产线

Name: 一种低成本往复式磁控溅射镀膜生产线
Brand: 南通理工学院
SKU: 2022206247633
Availability: InStock

📄 申请号：CN202220624763.3 📄 发布日：2026/09/11

著录项目信息

申请日

2022-03-21

公开号

CN217052383U

公开日

2022-07-26

申请人

南通理工学院

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C23C14_35

IPC 分类号

C23C14_35 , C23C14_56 ,

技术画像

所属领域

溅射镀膜磁控溅射真空镀膜镀膜生产线溅射镀膜

应用场景

装饰镀膜, 工具镀膜, 光学镀膜, 电子器件镀膜, 汽车零部件镀膜

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摘要

本实用新型公开了一种低成本往复式磁控溅射镀膜生产线，包括能往复传输基材的带式输送线，所述带式输送线上设有若干能相互连通的腔室，各个腔室之间均设有闸板阀，所述腔室至少包括镀膜工艺腔室，所述镀膜工艺腔室内固定设置有靶材，所述靶材沿所述带式输送线的横向设置，形成阴极磁场的磁铁沿所述靶材横向排列，阴极磁场的磁力线顶端方向与基材传输方向平行。本实用新型使用后等离子体在靶材跑道径向的刻蚀在基片径向方向上均匀分布，消除了跑道深度梯度变化对薄膜均匀性的影响，且本方案还降低了大规模生产的设备投入成本。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN217052383U

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种垃圾分类机器人的走行底座

当前第 / 件

一种用于建筑材料的锤式破碎机

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：63 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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