发明专利已授权

一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置

📄 申请号：CN201911236566.3 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2019-12-05

公开号

CN110846632A

公开日

2020-02-28

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_35

IPC 分类号

C23C14_35 , C23C14_56 , C23C14_18 ,

技术画像

所属领域

磁控溅射磁控溅射真空镀膜设备卷绕式镀膜工艺

应用场景

纤维表面镀膜, 功能纤维制造, 纺织表面处理, 电磁屏蔽材料, 复合材料制备

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摘要

本发明公开了一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置，包括纤维丝线、真空腔体、升降台及靶材支座，所述真空腔体内部在位于靶材支座一侧的位置设有卷绕式纤维镀膜装置，所述卷绕式纤维镀膜装置包括卷绕装置及丝架装置，所述卷绕装置对纤维丝线进行放卷，并通过丝架装置进行张开后再通过卷绕装置对纤维丝线进行收卷。本发明的有益效果是：该装置设计结构简单合理，使用方便，应用本装置为纤维进行磁控溅射镀膜，纤维丝线在滑轮之间绕动，使纤维丝线上圆柱表面与下圆柱表面都能镀到膜，保证了纤维镀膜的全面性与均匀性，对纤维镀膜的制造领域具有重要的意义。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种雷视融合外参标定方法

当前第 / 件

一种基于环境多种类词库识别单据的方法

同领域国内专利 · IPC: (C23C14_35)

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：19 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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