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本发明公开了一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置，包括纤维丝线、真空腔体、升降台及靶材支座，所述真空腔体内部在位于靶材支座一侧的位置设有卷绕式纤维镀膜装置，所述卷绕式纤维镀膜装置包括卷绕装置及丝架装置，所述卷绕装置对纤维丝线进行放卷，并通过丝架装置进行张开后再通过卷绕装置对纤维丝线进行收卷。本发明的有益效果是：该装置设计结构简单合理，使用方便，应用本装置为纤维进行磁控溅射镀膜，纤维丝线在滑轮之间绕动，使纤维丝线上圆柱表面与下圆柱表面都能镀到膜，保证了纤维镀膜的全面性与均匀性，对纤维镀膜的制造领域具有重要的意义。

一种高频振荡脉冲磁控溅射方法，包括以下步骤，1)将等待镀膜的样品分别浸泡在丙酮和酒精溶液中超声波清洗，吹干，放置于真空腔内样品工件架上，抽真空，通入氩气；2)开启高频振荡脉冲型靶电源和脉冲负偏压基体电源对样品表面进行离子轰击清洗，离子清洗时间20～40min，3)通入反应性气体，真空腔内真空度达到0.4～1.2Pa，接通可调节电感将脉冲靶电压，薄膜沉积时间20～180min；4)薄膜沉积完成后，关闭高频振荡脉冲电源、脉冲负偏压基体电源、反应气体阀门和工件架旋转机构，待真空腔内温度降至室温后将镀膜样品取出；具有高离化率、制备薄膜组织致密、性能良好的特点。

本发明公开了一种磁控溅射织物样品夹持器，包括固定架、样品盘和样品夹紧圈；固定架包括底架、左挡块、右挡块、后挡块、左弹性片和右弹性片，底架设有U型槽，所述左挡块、右挡块、后挡块与底架形成用于容置样品盘的固定腔，所述样品盘通过U型槽可拆卸安装在固定腔内；所述左弹性片和右弹性片对应设置于左挡块和右挡块的内侧靠近U型槽的位置；样品盘设有一圆形凹槽，样品夹紧圈弹性安装在样品盘的圆形凹槽里。本发明的夹持器能夹持住一定大小的圆形织物样品，样品均匀受力使表面平整，样品正面向下受溅射作用而镀膜，解决了现在技术的样品夹持不牢而掉落、柔性样品表面不平整等的不足，样品夹持牢固，表面平整，而且方便更换样品。