发明专利 已授权

一种以Cr/Cr-Si为过渡层在不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法

📄 申请号:CN201910968059.2 📄 发布日:2026/08/04

著录项目信息

申请日
2019-10-12
公开号
CN110527971B
公开日
2021-10-26
申请人
浙江工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

切削工具, 模具强化, 耐磨涂层, 装饰表面, 精密仪器部件

摘要

本发明公开了一种以Cr/Cr‑Si为过渡层在不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法,它包括以下步骤:1)不锈钢样品前处理:对不锈钢样品进行砂纸打磨,用丙酮进行超声处理,烘干备用;2)不锈钢表面沉积Cr/Cr‑Si薄膜:将步骤1)中的不锈钢样品装入磁控溅射设备的样品台中,将Cr、Si靶材安装到靶座上,在不锈钢基底表面沉积Cr膜及Cr‑Si薄膜,得到含Cr/Cr‑Si过渡层的不锈钢样品;3)在不锈钢表面沉积金刚石薄膜:将步骤2)中得到的含Cr/Cr‑Si过渡层的不锈钢样品进行超声种晶,利用热丝CVD进行沉积金刚石薄膜,实现在含Cr/Cr‑Si为过渡层的不锈钢表面上制备金刚石薄膜。本发明通过采用上述技术,使金刚石膜与不锈钢之间结合力高,在洛氏硬度计150 kg载荷作用下薄膜未发生脱落。

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图1
图2
图3

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