发明专利已授权

一种以Cr/Cr-Si为过渡层在不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法

📄 申请号：CN201910968059.2 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2019-10-12

公开号

CN110527971B

公开日

2021-10-26

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_35

IPC 分类号

C23C14_35 , C23C14_16 , C23C14_02 , C23C16_27 ,

技术画像

所属领域

金刚石薄膜金刚石薄膜化学气相沉积表面涂层技术

应用场景

切削工具, 模具强化, 耐磨涂层, 装饰表面, 精密仪器部件

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摘要

本发明公开了一种以Cr/Cr‑Si为过渡层在不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法，它包括以下步骤：1）不锈钢样品前处理：对不锈钢样品进行砂纸打磨，用丙酮进行超声处理，烘干备用；2）不锈钢表面沉积Cr/Cr‑Si薄膜：将步骤1）中的不锈钢样品装入磁控溅射设备的样品台中，将Cr、Si靶材安装到靶座上，在不锈钢基底表面沉积Cr膜及Cr‑Si薄膜，得到含Cr/Cr‑Si过渡层的不锈钢样品；3）在不锈钢表面沉积金刚石薄膜：将步骤2）中得到的含Cr/Cr‑Si过渡层的不锈钢样品进行超声种晶，利用热丝CVD进行沉积金刚石薄膜，实现在含Cr/Cr‑Si为过渡层的不锈钢表面上制备金刚石薄膜。本发明通过采用上述技术，使金刚石膜与不锈钢之间结合力高，在洛氏硬度计150 kg载荷作用下薄膜未发生脱落。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

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议价

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