本发明提供了一种在氮化铝基底上生长低粗糙度金刚石薄膜的制备方法。该方法是在热丝化学气相沉积系统中采用循环沉积气压的方法在氮化铝基底上生长低粗糙度的微晶金刚石薄膜，具有较高的稳定性、耐蚀性，具有相对低的表面粗糙度；使其有望用于波导器件中减少光的散射损失，增强检测精度，对于制备金刚石薄膜基波导器件有重要的应用价值。
📄 2021108860909
📂 C23C16_27
👤 浙江工业大学
📅 2021-08-03
本发明公开了一种具有新颖微结构的高迁移率n型纳米金刚石薄膜及其制备方法：采用热丝化学气相沉积方法(HFCVD)，在单晶硅衬底上制备纳米金刚石薄膜。以丙酮作为碳源，采用氢气鼓泡方式将碳源带入反应室腔体，生长时间约40‑60分钟，制备得到厚度1‑3μm左右的纳米金刚石薄膜，晶粒尺寸10‑30nm，薄膜中非晶碳晶界含量非常少。对该晶粒密堆积纳米金刚石薄膜进行硫离子以及氧离子注入，注入后的样品再进行低真空退火，即得到所述迁移率普遍达到400cm2/V·s以上的n型纳米金刚石薄膜。对于实现金刚石薄膜在半导体器件、光电子领域、场发射显示器等领域的应用具有十分重要的意义和价值。
📄 2018102472151
📂 C23C16_27
👤 浙江工业大学
📅 2018-03-23
本发明公开了一种纳米金刚石片竖立组装的高迁移率n型薄膜及其制备方法，石墨烯/纳米金刚石复合竖立片层由热丝化学气相沉积法制备，再利用微波等离子体处理获得具有密堆积结构的片层，呈高迁移率n型电导。
📄 2023102039236
📂 C23C16_27
👤 浙江工业大学
📅 2023-03-06
本发明公开了一种高迁移率n型超薄纳米金刚石薄膜及其制备方法：采用热丝化学气相沉积方法(HFCVD)，在通过物理气相沉积(PVD)了过渡层的硅衬底上制备超薄纳米金刚石薄膜，过渡层的厚度为50‑100nm。以丙酮作为碳源，采用氢气鼓泡方式将碳源带入反应室腔体，生长时间约10‑30分钟，制备得到厚度200‑300nm的超薄纳米金刚石薄膜。对超薄纳米金刚石薄膜注入施主杂质离子，注入后的样品再进行低真空氧化退火，即得到所述具有新颖微结构的高迁移率n型超薄纳米金刚石薄膜。该结果对于实现金刚石薄膜在半导体器件、光电子领域、场发射显示器等领域的应用具有十分重要的意义和价值。
📄 201810246649X
📂 C23C16_27
👤 浙江工业大学
📅 2018-03-23
本发明公开了一种在不锈钢上制备表面微织构金刚石薄膜的方法。利用W/WN过渡层与不锈钢基底之间的热膨胀系数差在不锈钢表面制备出了具有微织构的金刚石薄膜，对于提高不锈钢的摩擦学性能，制备更高质量的医疗或食品器械有重要意义。
📄 2021116706857
📂 C23C16_27
👤 浙江工业大学
📅 2021-12-31
本发明提供了一种以Cr/CrN/CrTiAlN为过渡层在不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法，所述方法包括：对不锈钢表面进行喷砂处理，采用磁控溅射在经过喷砂处理的不锈钢表面沉积Cr/CrN/CrTiAlN过渡层，采用化学气相沉积方法，在制备的Cr/CrN/CrTiAlN过渡层上沉积金刚石薄膜；本发明以Cr/CrN/CrTiAlN为过渡层，有效阻挡了铁、碳的扩散，提高了形核率，可以在低温度下制备金刚石薄膜，该金刚石薄膜的应力值较小，小于等于1.25GPa，与不锈钢热导率相比，本发明含涂层不锈钢热导率提高3％～11％。
📄 2017105320828
📂 C23C16_27
👤 浙江工业大学
📅 2017-07-03
本发明公开了一种以Cr/CrAlN为过渡层在不锈钢表面制备金刚石薄膜的方法，其特征在于：包括以下步骤：S1：不锈钢样品前处理：将不锈钢样品进行砂纸打磨，用丙酮和无水乙醇超声处理，烘干备用；S2：不锈钢表面沉积Cr/CrAlN过渡层：将S1步骤中的不锈钢样品装入磁控溅射设备的样品台，将Cr、Al靶材安装到靶座上，在不锈钢基底表面沉积Cr膜及CrAlN薄膜，得到含Cr/CrAlN过渡层的不锈钢样品；S3：在不锈钢表面制备金刚石薄膜：将S2步骤中含Cr/CrAlN过渡层的不锈钢样品进行超声种晶，利用热丝HFCVD进行沉积金刚石薄膜，实现在含Cr/CrAlN为过渡层的不锈钢表面上制备金刚石薄膜。采用本发明的技术，使金刚石膜与不锈钢之间结合力高，在洛氏硬度计150 kg载荷作用下薄膜未发生脱落。
📄 2019110555038
📂 C23C16_27
👤 浙江工业大学
📅 2019-10-31
本发明公开了一种低压下将纳米金刚石薄膜中石墨相转变为金刚石相的方法，该方法以钽丝作为热丝化学气相沉积法的热源，在沉积纳米金刚石薄膜之前，对钽丝进行深度碳化，抑制薄膜沉积过程中钽的高温逸出，使得钽以分散原子的形态存在于纳米金刚石薄膜中，对薄膜进行高温退火，可在钽的作用下使薄膜中的石墨相转变为金刚石相，这对于扩展金刚石的制备方法具有十分重要的科学意义和工程价值。
📄 2022102712166
📂 C23C16_27
👤 浙江工业大学
📅 2022-03-18
本发明公开了一种在不锈钢表面沉积金刚石薄膜的新方法。采用磁控溅射法在不锈钢基底上先溅射一层新颖的过渡层，然后采用热丝化学气相沉积法在过渡层上生长金刚石薄膜，先在金刚石粉悬浊液中超声30min，然后进行金刚石薄膜沉积，最后缓慢冷却降至室温，即可在不锈钢表面制备出连续致密的金刚石薄膜。
📄 2017112055352
📂 C23C16_27
👤 浙江工业大学
📅 2017-11-27
本发明公开了一种密堆积纳米金刚石薄膜。该密堆积纳米金刚石薄膜是利用旋涂种晶工艺，通过热丝化学气相沉积系统制备，该方法有效地降低了薄膜晶界中非晶碳的含量，制备了具有密堆积结构的纳米金刚石薄膜。
📄 2022115498781
📂 C23C16_27
👤 浙江工业大学
📅 2022-12-05
本发明公开一种基于石墨烯竖立片层制备纳米金刚石的方法，本发明利用热丝化学气相沉积系统生长含有钽原子的石墨烯竖立片层，在较低的压力条件下使石墨烯竖立片层转变为纳米金刚石，具有条件温和、成本低廉的特点；该方法对设备要求较低、工艺简单、易于操作；对发展新型的纳米金刚石制备方法具有重要的科学意义和价值。
📄 2023106398007
📂 C23C16_27
👤 浙江工业大学
📅 2023-05-31
一种合金刀具表面金刚石梯度膜及其制备方法，所述的金刚石梯度膜包括若干层微米晶金刚石薄膜和一层纳米晶金刚石薄膜，刀具基体表面向外依次为若干层微米晶金刚石薄膜和一层纳米晶金刚石薄膜，且各层金刚石膜晶粒尺寸由内向外依次减小。制备方法包括以下步骤：取合金刀具，对基体进行预处理后，置于金刚石悬浮液中进行道具表面接种处理，接种处理后取出，进行干燥处理；将干燥处理后的刀具基体置于热丝化学气相沉积设备的真空腔室内，在所述的刀具基体表面依次沉积生长若干层微米晶金刚石薄膜和一层纳米晶金刚石薄膜。该方法制备的金刚石梯度模晶粒结构均匀变化，内应力小，金刚石薄膜与合金刀具基体的结合强度高，刀具工作寿命大幅提高。
📄 2017105986129
📂 C23C16_27
👤 沈阳建筑大学
📅 2017-07-21
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