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一种具有高极限工作温度的金属纳米薄膜电极的制备方法

Name: 一种具有高极限工作温度的金属纳米薄膜电极的制备方法
Brand: 江南大学
SKU: 2023109699260
Availability: InStock

📄 申请号：CN202310969926.0 📄 发布日：2026/11/10

著录项目信息

申请日

2023-08-02

公开号

CN116970907B

公开日

2026-04-24

申请人

江南大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_30

IPC 分类号

C23C14_30 , C23C14_14 , C23C14_54 , B82Y40_00 ,

技术画像

所属领域

金属纳米薄膜金属纳米薄膜电极材料薄膜制备

应用场景

高温电子器件, 高温传感器, 半导体器件, 能源器件, 微电子制造

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摘要

本申请公开了一种具有高极限工作温度的金属纳米薄膜电极的制备方法，涉及纳米薄膜电极领域，该方法在真空镀膜腔室中，利用多靶位电子束蒸发镀膜仪使用金属靶材在硅片基底表面制备纳米级厚度的金属纳米薄膜，然后切换至使用铝靶材，并利用多靶位电子束蒸发镀膜仪使用铝靶材在金属纳米薄膜表面制备具有预定纳米级厚度的铝纳米薄膜，制备得到金属纳米薄膜电极。铝纳米薄膜在高温下稳定吸附在金属纳米薄膜表面，且厚度可控，表面平整，与金属纳米薄膜表面结合强度高。铝纳米薄膜在空气中氧化形成的氧化铝膜可有效避免金属纳米薄膜的高温氧化，从而有利于提高金属纳米薄膜电极的抗氧化性，使得金属纳米薄膜电极能够具有较高的极限工作温度。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN116970907B

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：3 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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